本發(fā)明公開了一種活性金屬氧化物磨粒與金剛石晶圓襯底界面摩擦化學(xué)反應(yīng)的檢測(cè)方法,通過(guò)磁控濺射法,在納米壓痕劃痕儀用的金剛石壓頭表面包覆一層厚度均勻可控的活性金屬氧化物磨粒殼層,通過(guò)與金剛石晶圓襯底的劃擦實(shí)驗(yàn)來(lái)控制活性金屬氧化物磨粒與晶圓之間的界面作用關(guān)系,再通過(guò)掃描探針顯微拉曼光譜儀對(duì)金剛石晶圓襯底表面的相互作用區(qū)域進(jìn)行化學(xué)成分檢測(cè),從而明確活性金屬氧化物磨粒與晶圓襯底的界面摩擦化學(xué)反應(yīng)機(jī)理,其操作簡(jiǎn)單,在半導(dǎo)體晶圓襯底的高效超精密加工領(lǐng)域具有良好的應(yīng)用前景。
聲明:
“活性金屬氧化物磨粒與金剛石晶圓襯底界面摩擦化學(xué)反應(yīng)的檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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