本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種用于
電化學(xué)檢測的電極表面具有納米凹凸結(jié)構(gòu)的電化學(xué)傳感器及其制備方法。該傳感器的電極設(shè)計制作成表面具有三維結(jié)構(gòu)的電極,具體在襯底上使用微電子工藝制作Cu/Au/Ti薄膜,通過熱退火使Cu/Au界面處金原子和銅原子強(qiáng)烈擴(kuò)散,并結(jié)晶;再通過稀酸腐蝕,去掉薄膜表面的Cu原子及其銅的化合物,形成具有納米級別凹凸結(jié)構(gòu)的界面。該電極具有較大的表面積,納米結(jié)構(gòu)表面的電子極其活躍,提高了電極的靈敏度,且適應(yīng)于快速檢測。本發(fā)明可以廣泛用于生物醫(yī)藥等多領(lǐng)域的檢測。
聲明:
“電極表面具有納米凹凸結(jié)構(gòu)的電化學(xué)傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)