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      有機器人存取卡匣的化學機械研磨工具

      724   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 06:57:46
      一種半導體制造系統(tǒng),包括:化學機械研磨系統(tǒng);卡匣保持區(qū)域,卡匣保持區(qū)域由壁包圍并具有門,門可由操作員打開以將一或多個卡匣放置入卡匣保持區(qū)域;機器人,機器人經(jīng)配置以在卡匣保持區(qū)域中的卡匣和化學機械研磨系統(tǒng)之間傳送基板;計算機控制器,計算機控制器經(jīng)配置以使機器人移動到起始位置(home?position);斷路器,斷路器在通向機器人的電源線路中;門傳感器,門傳感器用于檢測門是否打開;機器人存在傳感器,用于檢測機器人是否處于起始位置;和控制電路,控制電路經(jīng)配置以從門傳感器和機器人存在傳感器接收信號,并且若門是打開的且機器人不處于起始位置,則使斷路器切斷對機器人的供電。
      聲明:
      “有機器人存取卡匣的化學機械研磨工具” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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