本發(fā)明主要是關(guān)于從化學(xué)機械研磨(CMP)過程中回收研磨漿料及沖洗水的裝置和方法。本發(fā)明也是關(guān)于使用離心泵來進(jìn)行流變學(xué)測量及聚結(jié)預(yù)防。
聲明:
“化學(xué)機械研磨(CMP)漿料的使用點回收系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)