本實(shí)用新型公開了一種負(fù)壓檢測(cè)裝置和監(jiān)控設(shè)備。一種負(fù)壓檢測(cè)裝置,包括:連接于所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備上的吹氣結(jié)構(gòu);連接于所述吹氣結(jié)構(gòu)與所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備的連接處的檢測(cè)管,引導(dǎo)化學(xué)氣相沉膜設(shè)備中的氣體進(jìn)入所述負(fù)壓檢測(cè)裝置來檢測(cè)對(duì)應(yīng)位置的氣壓;纏繞包裹在所述檢測(cè)管表面的加熱帶,加熱所述檢測(cè)管。在化學(xué)氣相沉膜設(shè)備工作過程中會(huì)產(chǎn)生一些粉末,粉末會(huì)隨著氣體進(jìn)入到檢測(cè)管中,然后會(huì)粘附在檢測(cè)管的管壁上,隨著慢慢的積累會(huì)將檢測(cè)管堵塞,現(xiàn)在在檢測(cè)管外側(cè)設(shè)置一個(gè)加熱帶,對(duì)加熱管進(jìn)行加熱,使管壁溫度升高,防止粉末粘附在管壁上堵塞檢測(cè)管。
聲明:
“負(fù)壓檢測(cè)裝置和監(jiān)控設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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