本實(shí)用新型提供一種SF6氣體絕緣開關(guān)設(shè)備內(nèi)部絕緣故障診斷裝置。氣體檢測管對SF6氣體絕緣開關(guān)設(shè)備運(yùn)行過程中分解產(chǎn)生的SO2和HF進(jìn)行檢測并校正電化學(xué)傳感器中SO2、HF氣體組分檢測結(jié)果；電化學(xué)傳感器檢測出SF6氣體絕緣開關(guān)設(shè)備運(yùn)行過程中分解產(chǎn)生的SO2、H2S、CO和HF氣體組分含量；氣相色譜儀對SF6氣體絕緣開關(guān)設(shè)備運(yùn)行過程中分解產(chǎn)生的CF4、SF6、SO2F2、SOF2、H2O、S2F10以及S2OF10的濃度進(jìn)行標(biāo)定；氣相質(zhì)譜儀修正氣相色譜儀標(biāo)定的濃度；計(jì)算機(jī)根據(jù)氣相質(zhì)譜儀修正的濃度進(jìn)行SF6氣體絕緣開關(guān)設(shè)備內(nèi)部絕緣故障診斷；由于故障設(shè)備運(yùn)行中不同故障類型產(chǎn)生的SF6分解產(chǎn)物不同，因此使用由氣體檢測管、電化學(xué)傳感器、氣相色譜儀和氣相質(zhì)譜儀組成的檢測裝置進(jìn)行定性及定量檢測。