本發(fā)明公開了一種氣體凈化裝置,該氣體凈化裝置用以接收化學液體以與氣體混合,并用以凈化氣體。氣體凈化裝置包括多個液體狀態(tài)檢測器、多個氣體狀態(tài)檢測器、多個泵送馬達、氣體驅(qū)動馬達以及控制器。液體狀態(tài)檢測器配置在傳輸化學液體的傳輸通道中,偵測化學液體的多個液體狀態(tài)信息。氣體狀態(tài)檢測器配置在傳輸氣體的傳輸通道中,用以偵測氣體的多個氣體狀態(tài)信息??刂破麽槍σ后w狀態(tài)信息以及氣體狀態(tài)信息進行運算,藉以調(diào)整第一設定值以及第二設定值。第一設定值以及第二設定值分別用以驅(qū)動泵送馬達以及氣體驅(qū)動馬達。
聲明:
“氣體凈化裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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