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      真空泵、主傳感器及螺紋槽定子

      847   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 07:36:51
      本發(fā)明提供具備即使在不能確定流路內(nèi)的析出物的化學(xué)組成的情況下也能夠檢測析出物在流路內(nèi)堆積至既定的厚度的傳感器的真空泵。真空泵(1)具有在其間形成有內(nèi)部流路的旋轉(zhuǎn)部及固定部、將氣體從吸入口穿過內(nèi)部流路送向排氣口的排氣機(jī)構(gòu)、用于檢測堆積物在內(nèi)部流路的檢測對象位置達(dá)到既定的厚度的主傳感器(42),主傳感器(42)具有以與既定的厚度對應(yīng)的間隔配置于內(nèi)部流路的至少一對電極(54、56)、與一對電極(54、56)連接來檢測一對電極(54、56)間的靜電容量的靜電容量檢測回路(46),靜電容量檢測回路(46)基于靜電容量的增加率下降判定成內(nèi)部流路內(nèi)的堆積物達(dá)到既定的厚度。
      聲明:
      “真空泵、主傳感器及螺紋槽定子” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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