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      膠體表面呈凸起狀的硅溶膠及其制備方法和應用

      781   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
      2023-03-19 08:17:30
      本發(fā)明涉及半導體化學機械拋光技術領域,具體公開一種膠體表面呈凸起狀的硅溶膠及其制備方法和應用。所述膠體表面呈凸起狀的硅溶膠,包括液體介質(zhì)和膠體粒子,所述膠體粒子為狼牙棒狀、且表面帶凸起的二氧化硅膠體粒子,所述凸起的高度H為1~8nm;所述二氧化硅膠體粒子的氮氣吸附BET比表面積擬合粒徑為D1,經(jīng)透射電鏡表征所得的短軸粒徑為D2,經(jīng)動態(tài)光散射測得的粒徑為D3,1.2≤D2/D1≤1.8,且2.0≤D3/D1≤6.3。本發(fā)明提供的硅溶膠,具有較高的粗糙度和異形度,能夠有效減少與被研磨物的接觸時間,減少缺陷和劃痕的產(chǎn)生,用于拋光液中有助于提高拋光效率。
      聲明:
      “膠體表面呈凸起狀的硅溶膠及其制備方法和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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