本發(fā)明公開一種LED
芯片無損檢測裝置,LED芯片無損檢測裝置包括電源、導(dǎo)電液出液機構(gòu)及檢測機構(gòu),導(dǎo)電液出液機構(gòu)包括液體壓力控制器和微流控芯片,液體壓力控制器和電源分別與微流控芯片連接;微流控芯片設(shè)有多列用于流通正極導(dǎo)電液的第一導(dǎo)流孔和多列用于流通負極導(dǎo)電液的第二導(dǎo)流孔,液體壓力控制器與一列第一導(dǎo)流孔和一列第二導(dǎo)流孔連通,以控制正極導(dǎo)電液在第一導(dǎo)流孔的流通及負極導(dǎo)電液在第二導(dǎo)流孔的流通;檢測機構(gòu)包括與微流控芯片間隔設(shè)置的支撐架和光學(xué)傳感器,支撐架設(shè)有凹槽,光學(xué)傳感器設(shè)于凹槽內(nèi),凹槽的槽口放置裝載有多個LED芯片的晶圓。本發(fā)明技術(shù)方案通過導(dǎo)電液出液機構(gòu)代替探頭,無需更換探頭,提高LED芯片無損檢測裝置的檢測效率。
聲明:
“LED芯片無損檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)