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      投射式無損檢測薄膜層間內(nèi)部缺陷的紅外熱像裝置及方法

      993   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 08:57:46
      本發(fā)明公開了一種投射式無損檢測薄膜層間內(nèi)部缺陷的紅外熱像裝置及方法,所述裝置包括閃光光源、紅外熱像儀、信號同步裝置、被檢測件和計算機,信號同步裝置分別與閃光光源和計算機連接,紅外熱像儀分別與計算機和信號同步裝置連接,被檢測件垂直放置在紅外熱像儀和閃光光源之間,并與紅外熱像儀的鏡頭平行。所述方法利用脈沖加熱激勵時多層薄膜中有缺陷部分熱流受阻、無缺陷部分熱流順利通過造成的表面溫度不同的現(xiàn)象識別出缺陷的部位和尺寸。本發(fā)明具有快速、無損、實時、檢測成本低的特點,將其應(yīng)用于微電子、微電子機械等信息電子制造領(lǐng)域,可以使制造成本、測試成本大幅降低,質(zhì)量得以提高,具有廣闊的應(yīng)用前景。
      聲明:
      “投射式無損檢測薄膜層間內(nèi)部缺陷的紅外熱像裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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