本發(fā)明涉及一種用探針(11)和一個估計單元來無損測量薄層厚度的方法,探針(11)在一個內(nèi)部鐵心上帶有一個第一線圈器件(24),該線圈器件的幾何中心(22)和至少一個第二線圈器件(31)的幾何中心重合,該至少第二線圈器件(31)部分地圍繞著第一線圈器件(24);對該估計單元,在用來確定薄層厚度的測量期間發(fā)射線圈器件(24、31)的信號,該方法的特征在于提供一個電路(50),通過其在測量期間順序激勵第一和至少第二線圈器件(24、31)。
聲明:
“用于無損測量薄層厚度的方法和儀器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)