本發(fā)明涉及光學(xué)元件亞表面缺陷的無損檢測技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于量子點光漂白的光學(xué)元件亞表面缺陷檢測方法及系統(tǒng)。可以提高光學(xué)元件亞表面缺陷檢測的準(zhǔn)確性和精確性。本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:1)光學(xué)元件和量子點標(biāo)記物表征;2)使用量子點標(biāo)記光學(xué)元件亞表面缺陷;3)光學(xué)元件亞表面缺陷熒光檢測;4)采集亞表面缺陷熒光圖像;5)提取缺陷熒光強度;6)定量分析亞表面缺陷中量子點的抗光漂白特性;7)光學(xué)元件亞表面缺陷檢測。
聲明:
“基于量子點光漂白的光學(xué)元件亞表面缺陷檢測方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)