本發(fā)明屬于光學(xué)精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種反射腔式差動(dòng)共焦超大曲率半徑測(cè)量方法。該方法通過(guò)差動(dòng)共焦定焦原理配合平行平晶精確定位被測(cè)表面的焦點(diǎn)位置,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)超大曲率半徑的高精度測(cè)量。本發(fā)明提出差動(dòng)共焦定焦原理與反射腔式折疊光路原理相結(jié)合的方法,具有被測(cè)件移動(dòng)距離小、測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、抗環(huán)境干擾能力強(qiáng)、對(duì)被測(cè)表面無(wú)損傷等優(yōu)點(diǎn),可用于超大曲率半徑的高精度非接觸測(cè)量。
聲明:
“反射腔式差動(dòng)共焦超大曲率半徑測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)