一種小型激光精密測長儀器,其激光干涉儀光路是無擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡的細(xì)光束干涉儀光路,精密導(dǎo)軌采用兩根圓柱形導(dǎo)軌,傳動絲杠與兩根圓柱形導(dǎo)軌三軸平行放置,且呈階梯式分布。本儀器光學(xué)元件尺寸小,機(jī)械結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,且重心低,穩(wěn)定性好,受振動影響小;既能進(jìn)行接觸測量,亦能進(jìn)行非接觸無損測量;加工容易,造價(jià)低,對使用環(huán)境條件要求低,適于推廣應(yīng)用??蓮V泛用于精密零部件的測量。
聲明:
“小型激光精密測長儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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