本實(shí)用新型提供了一種失效分析顯微鏡,包括:會(huì)聚超透鏡和顯微系統(tǒng),所述顯微系統(tǒng)包括顯微物鏡;所述會(huì)聚超透鏡位于所述顯微系統(tǒng)外側(cè),并與所述顯微物鏡位置對(duì)應(yīng);所述會(huì)聚超透鏡遠(yuǎn)離所述顯微物鏡的一側(cè)用于放置待測(cè)樣品,所述會(huì)聚超透鏡用于對(duì)所述待測(cè)樣品所出射的激發(fā)光線進(jìn)行會(huì)聚,并將會(huì)聚的激發(fā)光線射向所述顯微物鏡。通過本實(shí)用新型實(shí)施例提供的失效分析顯微鏡,利用會(huì)聚超透鏡對(duì)待測(cè)樣品所出射的激發(fā)光線進(jìn)行會(huì)聚,可以增大系統(tǒng)數(shù)值孔徑,能夠提高光學(xué)顯微鏡的分辨率,可以用來檢測(cè)待測(cè)樣品的表面缺陷或破損,實(shí)現(xiàn)失效分析。并且,使用超表面作為會(huì)聚光線的會(huì)聚超透鏡,可以有效地減小整體的尺寸,減輕整體的重量。
聲明:
“失效分析顯微鏡” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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