本申請(qǐng)公開了一種晶圓的失效檢測(cè)方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，該方法包括：獲取目標(biāo)晶圓的預(yù)定類型的WAT數(shù)據(jù)，預(yù)定類型的WAT數(shù)據(jù)是通過第一機(jī)器學(xué)習(xí)模型從至少兩種候選類型的WAT數(shù)據(jù)中確定類型的數(shù)據(jù)；調(diào)用第二機(jī)器學(xué)習(xí)模型對(duì)預(yù)定類型的WAT數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，得到目標(biāo)晶圓的失效率，第二機(jī)器學(xué)習(xí)模型是根據(jù)至少一組樣本W(wǎng)AT數(shù)據(jù)組訓(xùn)練得到的；輸出目標(biāo)晶圓的失效率。本申請(qǐng)通過獲取目標(biāo)晶圓的預(yù)定類型的WAT數(shù)據(jù)，調(diào)用第二機(jī)器學(xué)習(xí)模型對(duì)預(yù)定類型的WAT數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，得到目標(biāo)晶圓的失效率，輸出目標(biāo)晶圓的失效率，由于目標(biāo)晶圓的失效率是由第二機(jī)器學(xué)習(xí)模型預(yù)測(cè)得到的，因此能夠提高獲取晶圓的失效率的準(zhǔn)確度，且提高了獲取的效率。