該發(fā)明公開(kāi)了一種三維存儲(chǔ)器的確定失效溝道孔的方法及測(cè)試樣品,所述方法包括:提供一具有失效溝道孔的失效
芯片;確定漏電的失效字線層,對(duì)位于所述失效字線層兩側(cè)的所述失效芯片進(jìn)行減薄,以制備測(cè)試樣品;對(duì)測(cè)試樣品的溝道孔進(jìn)行電壓襯度分析以找出具有異常電壓襯度的溝道孔,確定失效溝道孔,根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的三維存儲(chǔ)器的確定失效溝道孔的方法,能夠準(zhǔn)確快速地檢測(cè)到失效溝道孔,且能夠準(zhǔn)確檢測(cè)到輕微漏電和較小缺陷的失效溝道孔,從而能夠及時(shí)有效地找出失效原因,以提高產(chǎn)品成功率。
聲明:
“三維存儲(chǔ)器的確定失效溝道孔的方法及測(cè)試樣品” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)