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      用于精確定位大尺寸器件的小缺陷失效地址的方法

      955   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 08:59:35
      本發(fā)明涉及一種用于精確定位大尺寸器件的小缺陷失效地址的方法,所述方法包括如下步驟:步驟一,將有缺陷的樣品處理到鎢栓塞層,使用掃描電鏡觀察存在缺陷的區(qū)域器件表面結(jié)構(gòu);步驟二,掃描電鏡記錄大尺寸器件柵極/源極/漏極/襯底的表面電壓襯度;步驟三,使用納米點針臺對大尺寸器件柵極和源極/漏極的兩端進行電流量測,得到測量電流數(shù)據(jù);步驟四,通過對比各測量電流數(shù)據(jù),取電流最大的一組作為存在小缺陷失效地址。本發(fā)明用于精確定位大尺寸器件的小缺陷失效地址的新方法,能夠克服傳統(tǒng)分析方法在含有小缺陷的大尺寸器件精確定位中的困難,使得小缺陷的大尺寸器件失效位置的定位更加精確,便捷。
      聲明:
      “用于精確定位大尺寸器件的小缺陷失效地址的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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