本申請公開了一種骨傳導(dǎo)檢測裝置、骨傳導(dǎo)器件及制作方法。所述骨傳導(dǎo)檢測裝置包括支撐件、第一基板、第二基板以及可動組件;支撐件上設(shè)置有支撐孔,并且支撐件具有相對的第一側(cè)與第二側(cè),第一側(cè)與第一基板固定連接,第二側(cè)與第二基板固定連接,支撐件、第一基板以及第二基板共同形成腔體;可動組件包括通過懸掛結(jié)構(gòu)懸掛在支撐孔內(nèi)的質(zhì)量塊;第二基板上設(shè)置有固定電極,固定電極與質(zhì)量塊形成針對目標(biāo)方向加速度的檢測電容;其中,目標(biāo)方向與第一基板的厚度方向相平行,質(zhì)量塊在檢測到目標(biāo)方向加速度時沿平行于目標(biāo)方向運(yùn)動,并且懸掛結(jié)構(gòu)限制質(zhì)量塊在非目標(biāo)方向上的運(yùn)動。本申請所公開的技術(shù)方案解決了現(xiàn)有的骨傳導(dǎo)麥克風(fēng)的靈敏度差且失效的問題。
聲明:
“骨傳導(dǎo)檢測裝置、骨傳導(dǎo)器件及制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)