本發(fā)明涉及
芯片測試領(lǐng)域,提供一種確定器件故障點的測試方法及裝置。所述確定器件故障點的測試方法包括:按時間順序?qū)ζ骷慕橘|(zhì)層施加恒定電壓和脈沖電壓;監(jiān)測所述脈沖電壓的變化情況,根據(jù)所述脈沖電壓的變化情況確定所述器件的介質(zhì)層是否被擊穿;在確定所述器件的介質(zhì)層被擊穿這一時刻停止施加所述脈沖電壓,根據(jù)所述介質(zhì)層的擊穿情況確定所述器件最早發(fā)生故障的故障點。本發(fā)明在器件介質(zhì)層被擊穿的最早時期,能夠立即感知到電壓的變化,并立即停止施加電壓。此時器件介質(zhì)層擊穿損壞不嚴(yán)重,可根據(jù)損壞情況精確定位器件最早發(fā)生故障的故障點的位置,從而分析出導(dǎo)致失效的具體原因,促進(jìn)設(shè)計改進(jìn)和制造工藝改進(jìn)。
聲明:
“確定器件故障點的測試方法及裝置、存儲介質(zhì)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)