本實用新型公開了本實用新型公開了一種晶圓測試探針卡,包括底層PCB板,在底層PCB板上固定設置有測試探針,所述測試探針包括中空的探針柱、探針頭以及探針彈簧;所述探針柱一端連接PCB板,探針彈簧位于探針柱內,探針彈簧一端連接探針柱的底部,另一端連接所述探針頭。本實用新型所述的晶圓測試探針卡,結構簡單,使用本實用新型后晶圓測試工藝制程簡單、技術質量可靠、可操作性強、晶圓級老化可靠性高,減少測試成本,更快的失效問題的反饋,可取得較佳且穩(wěn)定的測試結果,起到大量節(jié)省原料成本和大幅度提高效率。
聲明:
“晶圓測試探針卡” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)