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      原位清潔PLD電化學(xué)表征系統(tǒng)

      942   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 09:20:04
      本實(shí)用新型公開(kāi)了原位清潔PLD電化學(xué)表征系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括:脈沖激光沉積腔室、激光發(fā)射裝置、電化學(xué)工作站、反射高能電子衍射儀、配套使用的熒屏和CCD相機(jī)、真空手套箱和抽真空設(shè)備。該系統(tǒng)將電化學(xué)工作站集成到PLD設(shè)備中,不僅能夠精確制備結(jié)構(gòu)致密且界面清晰的超清潔薄膜圖案電極,還能夠原位精確地對(duì)樣品進(jìn)行在不同氣氛和不同濕度下的性能測(cè)試和表征;此外將脈沖激光沉積(PLD)腔室和真空手套箱連接起來(lái),能夠維持樣品表面高的潔凈度,為后續(xù)其它性能表征提供高潔凈度的樣品,提高測(cè)試的準(zhǔn)確性。由此,對(duì)理解器件失效原因和性能提升以及器件的工業(yè)生產(chǎn)和應(yīng)用具有重大意義。
      聲明:
      “原位清潔PLD電化學(xué)表征系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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