本發(fā)明提供一種以(Zn1-xCox)2SiO4,0.05≤x≤0.1為主晶相組成的低成本低介低損耗LTCC微波陶瓷材料及其制備方法。該陶瓷材料在硅鋅礦結(jié)構(gòu)的Zn2SiO4基礎(chǔ)上進行了適量Co2+的替代,采用LBSCA玻璃助燒降低燒結(jié)溫度,可實現(xiàn)900℃低溫燒結(jié),制備得該微波陶瓷材料介電常數(shù)εr為6.1~6.6,具有極低微波損耗、品質(zhì)因數(shù)Q×f值均在30000GHz以上、最高可達到56939GHz,諧振頻率溫度系數(shù)τf約為-55ppm/℃;其制備方法以Co2O3、ZnO、SiO2原料,依次進行稱料、一次球磨、烘料、預燒、摻雜、二次球磨、烘料、造粒、成型、燒結(jié)工藝;生產(chǎn)原料便宜、生產(chǎn)成本低、制備工藝簡單。該微波陶瓷材料在作為LTCC微波介質(zhì)基板或器件材料時,可以顯著降低微波器件或模塊的損耗。
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“低成本低介低損耗LTCC微波陶瓷材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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