本發(fā)明公開一種對(duì)單晶硅生產(chǎn)中回收的氬氣進(jìn)行純化的方法。本發(fā)明的氬氣純化的方法是:在反應(yīng)床中均勻裝填純化處理催化劑,并使催化劑表面保持在同一平面,先通入高純氧氣對(duì)催化劑進(jìn)行預(yù)氧化處理,反應(yīng)裝置升溫至100℃?400℃,然后使待純化的氬氣流過催化劑表面,所用的催化劑含Ce、Ni、Sr、Co、Mn、La、Zn、Ga、Mg、Be、Ba、Bi和Cd各組份。本發(fā)明的方法使用廉價(jià)的
鈣鈦礦型復(fù)合氧化物催化劑,其反應(yīng)條件溫和,純化氬氣純度高,純化系統(tǒng)反應(yīng)可去除CO、H
2等,生成CO
2與H
2O,該工藝方法簡潔,產(chǎn)品純化率較高,符合綠色化學(xué)概念,同時(shí)適合工業(yè)化生產(chǎn)。
聲明:
“對(duì)單晶硅生產(chǎn)中回收的氬氣純化的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)