權(quán)利要求書： 1.一種掃描電子顯微鏡的樣品臺，其特征在于，包括：

樣品臺本體(1)，所述樣品臺本體為正方體形狀，所述樣品臺本體(1)具有樣品槽(1A)，所述樣品槽(1A)為上端開口的長方體形狀，樣品槽(1A)與樣品臺本體(1)的縱向中心軸線在同一條直線上，所述樣品臺本體(1)的四個側(cè)壁上均設(shè)置有多個大小相同的第一螺紋孔(1B)，所述第一螺紋孔(1B)沿側(cè)壁中心處向上端開口的軸線方向等距離分布，所述第一螺紋孔(1B)與樣品槽(1A)聯(lián)通，所述樣品臺本體(1)的底部中心處設(shè)置有第二螺紋孔(1C)，所述第二螺紋孔(1C)與樣品槽(1A)聯(lián)通；

緊固螺栓(2)，所述緊固螺栓(2)由第一螺紋桿(2A)和第一螺帽(2B)組成，所述第一螺帽(2B)上設(shè)有十字凹槽，所述緊固螺栓(2)的第一螺紋桿(2A)的直徑與第一螺紋孔(1B)的內(nèi)徑相匹配，所述緊固螺栓(2)與樣品臺本體(1)通過螺紋配合連接；

釘型腿(3)，所述釘型腿(3)為圓柱體且設(shè)置有螺紋，且釘型腿(3)的直徑與第二螺紋孔(1C)的內(nèi)徑相匹配，所述釘型腿(3)的一端與樣品臺本體(1)通過螺紋配合連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺，其特征在于，所述樣品臺本體(1)上端的四個頂角處分別設(shè)有安裝孔(1D)，安裝孔內(nèi)壁設(shè)有螺紋，通過螺釘(4)將網(wǎng)狀壓板(5)覆蓋固定在樣品臺本體上端，所述螺釘(4)由第二螺紋桿(4A)和第二螺帽(4B)組成，所述第二螺紋桿(4A)與安裝孔(1D)通過螺紋緊固連接，所述第二螺帽(4B)上設(shè)有十字凹槽，所述網(wǎng)狀壓板(5)的形狀與樣品臺本體的底面形狀相同，且網(wǎng)狀壓板的網(wǎng)孔為正方形，網(wǎng)孔的邊長大于第二螺紋桿(4A)的直徑且小于第二螺帽(4B)的直徑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺，其特征在于，所述緊固螺栓(2)的第一螺紋桿(2A)的底端設(shè)有第一石墨墊片(6A)，所述第一石墨墊片(6A)與第一螺紋桿(2A)通過導(dǎo)電膠帶或?qū)щ娿y膠連接，所述第一石墨墊片(6A)的直徑與第一螺紋桿(2A)的直徑相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺，其特征在于，所述釘型腿(3)的底端設(shè)有第二石墨墊片(6B)，所述第二石墨墊片(6B)與釘型腿(3)通過導(dǎo)電膠帶或?qū)щ娿y膠連接，所述第二石墨墊片(6B)的直徑與釘型腿(3)的直徑相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺，其特征在于，所述樣品臺本體(1)側(cè)壁上的第一螺紋孔(1B)的直徑與樣品臺本體(1)底部中心的第二螺紋孔(1C)的直徑相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺，其特征在于，所述緊固螺栓(2)的第一螺紋桿(2A)的直徑大于螺釘(4)的第二螺紋桿(4A)的直徑。

說明書： 掃描電子顯微鏡的樣品臺技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實用新型涉及一種掃描電子顯微鏡的樣品臺。背景技術(shù)[0002] 掃描電子顯微鏡被廣泛應(yīng)用于表征分析各種固態(tài)物質(zhì)的表面形貌和微區(qū)成分。樣品臺是掃描電子顯微鏡的重要部件之一，用來承載和固定樣品，然后被裝入托架中進(jìn)入樣品觀測室，并在掃描電子顯微鏡其他系統(tǒng)的配合下成像以表征樣品。通常是將樣品用導(dǎo)電膠水或?qū)щ娔z帶固定在儀器自帶的圓餅狀樣品臺上，但對樣品的形狀和尺寸有較大的限制。特別是對于需要分析一些形狀不規(guī)則的樣品，例如拉伸斷口樣品、沖擊斷口樣品等，一方面很難通過使用電膠水或?qū)щ娔z帶而穩(wěn)定地固定在平面圓形樣品臺上，導(dǎo)致樣品的測試過程中發(fā)生圖像漂移現(xiàn)象，成像質(zhì)量差，影響正常的測量及形貌分析，甚至在測試過程中出現(xiàn)樣品脫落，造成儀器損壞；另一方面由于測試時電鏡的極靴與樣品之間的工作距離很近，固定在平面圓形樣品臺上的較大尺寸的樣品容易碰撞到極靴。[0003] 另外，由于掃描電子顯微鏡中物鏡的半漏磁設(shè)計對于磁性樣品有很強(qiáng)的吸引作用，磁性樣品若固定不牢則很容易被吸附到極靴上而造成電鏡的損壞。例如，用于評價潤滑脂性能的滾動軸承的磨斑分析是利用掃描電子顯微鏡的成像技術(shù)同時結(jié)合能譜分析，來確定雜質(zhì)元素以及潤滑脂中的元素對磨斑成因的影響，其中所用的滾動軸承為球形且具有磁性。目前對于滾動軸承的測試前制樣通常有以下兩種方法：一種制樣方法是將滾動軸承切割出一個平面再用導(dǎo)電膠帶粘附固定，該方法不但會完全破壞滾動軸承的結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致樣品無法進(jìn)行后續(xù)其他檢測和再利用，而且在切割過程中產(chǎn)生的高溫以及外來污染問題，會導(dǎo)致樣品表面被污染，而使其組成發(fā)生較大改變，無法獲得準(zhǔn)確的分析結(jié)果；另一種制樣方法是利用導(dǎo)電膠帶多層包裹進(jìn)行固定，但球形的滾動軸承與樣品臺無法形成穩(wěn)定地固定，容易被吸附到極靴上而損壞電鏡，同時用于包裹的導(dǎo)電膠帶一方面粘附在樣品表面導(dǎo)致樣品表面被污染，另一方面導(dǎo)電膠帶中含有大量的有機(jī)成分，在真空中易揮發(fā)造成污染，影響真空等級，最終導(dǎo)致掃描電鏡的使用壽命縮短。實用新型內(nèi)容

[0004] 為解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷，本實用新型提供了一種掃描電子顯微鏡的樣品臺，能夠?qū)Ω鞣N形狀的樣品形成穩(wěn)定地固定且不會造成樣品被污染或損壞，有效降低圖像漂移現(xiàn)象的發(fā)生，從而改善成像質(zhì)量，特別是能夠防止磁性樣品被吸附到極靴上，同時避免了導(dǎo)電膠帶對電鏡的污染及樣品臺后續(xù)的殘留物清理工作，提高工作效率。[0005] 為達(dá)到上述目的，本實用新型提供一種掃描電子顯微鏡的樣品臺，包括：[0006] 樣品臺本體1，所述樣品臺本體為正方體形狀，所述樣品臺本體1具有樣品槽1A，所述樣品槽1A為上端開口的長方體形狀，樣品槽1A與樣品臺本體1的縱向中心軸線在同一條直線上，所述樣品臺本體1的四個側(cè)壁上均設(shè)置有多個大小相同的第一螺紋孔1B，所述第一螺紋孔1B沿側(cè)壁中心處向上端開口的軸線方向等距離分布，所述第一螺紋孔1B與樣品槽1A聯(lián)通，所述樣品臺本體1的底部中心處設(shè)置有第二螺紋孔1C，所述第二螺紋孔1C與樣品槽1A聯(lián)通；

[0007] 緊固螺栓2，所述緊固螺栓2由第一螺紋桿2A和第一螺帽2B組成，所述第一螺帽2B上設(shè)有十字凹槽，所述緊固螺栓2的第一螺紋桿2A的直徑與第一螺紋孔1B的內(nèi)徑相匹配，所述緊固螺栓2與樣品臺本體1通過螺紋配合連接；[0008] 釘型腿3，所述釘型腿3為圓柱體且設(shè)置有螺紋，且釘型腿3的直徑與第二螺紋孔1C的內(nèi)徑相匹配，所述釘型腿3的一端與樣品臺本體1通過螺紋配合連接。[0009] 進(jìn)一步地，所述樣品臺本體1上端的四個頂角處分別設(shè)有安裝孔1D，安裝孔內(nèi)壁設(shè)有螺紋，通過螺釘4將網(wǎng)狀壓板5覆蓋固定在樣品臺本體上端，所述螺釘4由第二螺紋桿4A和第二螺帽4B組成，所述第二螺紋桿4A與安裝孔1D通過螺紋緊固連接，所述第二螺帽4B上設(shè)有十字凹槽，所述網(wǎng)狀壓板5的形狀與樣品臺本體的底面形狀相同，且網(wǎng)狀壓板的網(wǎng)孔為正方形，網(wǎng)孔的邊長大于第二螺紋桿4A的直徑且小于第二螺帽4B的直徑。[0010] 進(jìn)一步地，所述緊固螺栓2的第一螺紋桿2A的底端設(shè)有第一石墨墊片6A，所述第一石墨墊片6A與第一螺紋桿2A通過導(dǎo)電膠帶或?qū)щ娿y膠連接，所述第一石墨墊片6A的直徑與第一螺紋桿2A的直徑相同。[0011] 進(jìn)一步地，所述釘型腿3的底端設(shè)有第二石墨墊片6B，所述第二石墨墊片6B與釘型腿3通過導(dǎo)電膠帶或?qū)щ娿y膠連接，所述第二石墨墊片6B的直徑與釘型腿3的直徑相同。[0012] 進(jìn)一步地，所述樣品臺本體1側(cè)壁上的第一螺紋孔1B的內(nèi)徑與樣品臺本體1底部中心的第二螺紋孔1C的內(nèi)徑相同。[0013] 進(jìn)一步地，所述第一螺紋孔1B的內(nèi)徑大于安裝孔1D的內(nèi)徑。[0014] 本實用新型的有益效果是：(1)可以直接穩(wěn)固地固定不同形狀的樣品，不會對樣品造成污染或破壞，保持樣品的原有狀態(tài)；(2)能夠?qū)Ω鞣N形狀的樣品形成穩(wěn)定地固定，有效降低圖像漂移現(xiàn)象的發(fā)生，從而改善成像質(zhì)量，提高測試準(zhǔn)確性；(3)能夠防止樣品在測試中發(fā)生脫落或碰撞到極靴，同時防止磁性樣品被吸附到極靴上，避免對電鏡造成損壞；(4)避免導(dǎo)電膠帶對電鏡的污染及樣品臺后續(xù)的殘留物清理工作，提高工作效率。附圖說明[0015] 圖1為本實用新型的一些實施方式的立體結(jié)構(gòu)示意圖。[0016] 圖2為本實用新型的一些實施方式的俯視圖。[0017] 圖3為本實用新型的一些實施方式的俯視圖。[0018] 附圖標(biāo)記說明：1?樣品臺本體；1A?樣品槽；1B?第一螺紋孔；1C?第二螺紋孔；1D?安裝孔；2?緊固螺栓；2A?第一螺紋桿；2B?第一螺帽；3?釘型腿；4?螺釘；5?網(wǎng)狀壓板；6A?第一石墨墊片；6B?第二石墨墊片；7?樣品。[0019] 應(yīng)理解，附圖僅出于示例目的來繪制，不應(yīng)視為是對本實用新型的限制。具體實施方式[0020] 下面結(jié)合附圖1至附圖3對本實用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)說明?？梢岳斫獾氖牵颂幩枋龅木唧w實施方式僅僅用于解釋本實用新型，而非對本實用新型的限定。另外還需要說明的是，為了便于描述，附圖1至附圖3中示出了與本實用新型相關(guān)的部分而非全部結(jié)構(gòu)，且附圖1至附圖3僅以說明為目的，并未依照原尺寸作圖。[0021] 如果沒有特別的說明，本實用新型的所有實施方式以及可選實施方式可以相互組合形成新的技術(shù)方案。[0022] 如果沒有特別的說明，本實用新型的所有技術(shù)特征以及可選技術(shù)特征可以相互組合形成新的技術(shù)方案。[0023] 如果沒有特別的說明，本實用新型所提到的“包括”和“包含”表示開放式，也可以是封閉式。例如，所述“包括”和“包含”可以表示還可以包括或包含沒有列出的其他組分，也可以僅包括或包含列出的組分。[0024] 如果沒有特別的說明，在本實用新型中，術(shù)語“或”是包括性的。舉例來說，短語“A或B”表示“A，B，或A和B兩者”。更具體地，以下任一條件均滿足條件“A或B”：A為真(或存在)并且B為假(或不存在)；A為假(或不存在)而B為真(或存在)；或A和B都為真(或存在)。[0025] 本實用新型提供一種掃描電子顯微鏡的樣品臺，如圖1和圖2所示，該掃描電子顯微鏡的樣品臺包括：[0026] 樣品臺本體1，所述樣品臺本體為正方體形狀，所述樣品臺本體1具有樣品槽1A，所述樣品槽1A為上端開口的長方體形狀，樣品槽1A與樣品臺本體1的縱向中心軸線在同一條直線上，所述樣品臺本體1的四個側(cè)壁上均設(shè)置有多個大小相同的第一螺紋孔1B，所述第一螺紋孔1B沿側(cè)壁中心處向上端開口的軸線方向等距離分布，所述第一螺紋孔1B與樣品槽1A聯(lián)通，所述樣品臺本體1的底部中心處設(shè)置有第二螺紋孔1C，所述第二螺紋孔1C與樣品槽1A聯(lián)通；

[0027] 緊固螺栓2，所述緊固螺栓2由第一螺紋桿2A和第一螺帽2B組成，所述第一螺帽2B上設(shè)有十字凹槽，所述緊固螺栓2的第一螺紋桿2A的直徑與第一螺紋孔1B的內(nèi)徑相匹配，所述緊固螺栓2與樣品臺本體1通過螺紋配合連接；[0028] 釘型腿3，所述釘型腿3為圓柱體且設(shè)置有螺紋，且釘型腿3的直徑與第二螺紋孔1C的內(nèi)徑相匹配，所述釘型腿3的一端與樣品臺本體1通過螺紋配合連接。[0029] 在本實用新型中，所述樣品臺本體1的兩個相向側(cè)壁上設(shè)置的第一螺紋孔1B呈對稱分布。[0030] 在本實用新型中，所述緊固螺栓2由第一螺紋桿2A和第一螺帽2B組成，第一螺紋桿2A和第一螺帽2B的連接呈一體結(jié)構(gòu)(例如可以一體成型而成)。

[0031] 在本實用新型中，緊固螺栓2和釘型腿3均能夠通過旋轉(zhuǎn)方式進(jìn)入樣品臺本體1中而對樣品槽1A中的樣品進(jìn)行固定，樣品大小不同，緊固螺栓2和釘型腿3擰進(jìn)距離長短隨之不同，但都可以起到牢固固定的效果，實現(xiàn)對樣品的可靠固定。操作人員通過調(diào)整釘型腿3使樣品的上端(最高處)與樣品槽1A上端目測保持基本水平，并且通過調(diào)整緊固螺栓2使樣品目測基本位于樣品槽1A中間處。[0032] 在本實用新型中，可根據(jù)樣品的大小、薄厚等情況適配地選擇不同長度的緊固螺栓2和釘型腿3，只要能夠保證穩(wěn)定地固定樣品并能夠使樣品臺順利地進(jìn)出掃描電子顯微鏡即可。本實用新型的掃描電子顯微鏡的樣品臺可以將一定尺寸范圍內(nèi)薄片到塊狀的樣品均牢固地固定，且樣品的形狀不限，例如用于評價潤滑脂性能的呈球形的滾動軸承。[0033] 在本實用新型中，釘型腿3的一端與樣品臺本體1通過螺紋配合連接用于固定樣品，另一端能夠?qū)⒈緦嵱眯滦偷臉悠放_連接在掃描電子顯微鏡中的樣架上。[0034] 在一些實施方式中，所述樣品臺本體1上端的四個頂角處分別設(shè)有安裝孔1D，安裝孔內(nèi)壁設(shè)有螺紋，通過螺釘4將網(wǎng)狀壓板5覆蓋固定在樣品臺本體上端，所述螺釘4由第二螺紋桿4A和第二螺帽4B組成，所述第二螺紋桿4A與安裝孔1D通過螺紋緊固連接，所述第二螺帽4B上設(shè)有十字凹槽，所述網(wǎng)狀壓板5的形狀與樣品臺本體的底面形狀相同，且網(wǎng)狀壓板的網(wǎng)孔為正方形，網(wǎng)孔的邊長大于第二螺紋桿4A的直徑且小于第二螺帽4B的直徑，如圖3所示。將網(wǎng)狀壓板5覆蓋固定在樣品臺本體上端，可以有效防止一些磁性樣品在測試時被吸附到極靴上而造成電鏡損壞。[0035] 在本實用新型中，所述螺釘4由第二螺紋桿4A和第二螺帽4B組成，第二螺紋桿4A和第二螺帽4B的連接呈一體結(jié)構(gòu)(例如可以一體成型而成)。[0036] 在一些實施方式中，所述緊固螺栓2的第一螺紋桿2A的底端設(shè)有第一石墨墊片6A，所述第一石墨墊片6A與第一螺紋桿2A通過導(dǎo)電膠帶或?qū)щ娿y膠連接，所述第一石墨墊片6A的直徑與第一螺紋桿2A的直徑相同。[0037] 在一些實施方式中，所述釘型腿3的底端設(shè)有第二石墨墊片6B，所述第二石墨墊片6B與釘型腿3通過導(dǎo)電膠帶連接，所述第二石墨墊片6B的直徑與釘型腿3的直徑相同。

[0038] 在一些實施方式中，所述樣品臺本體1側(cè)壁上的第一螺紋孔1B的內(nèi)徑與樣品臺本體1底部中心的第二螺紋孔1C的內(nèi)徑相同。在這情況下，所述緊固螺栓2的第一螺紋桿2A的直徑與所述釘型腿3的直徑相同。[0039] 在本實用新型中，石墨墊片一方面可以增加樣品與樣品臺之間的導(dǎo)電性，以便將樣品上積聚的電荷傳到出去，從而改善成像質(zhì)量；另一方面可以避免樣品與螺紋桿之間的剛性接觸，從而避免螺紋桿對樣品表面造成磨損。[0040] 在一些實施方式中，所述第一螺紋孔1B的內(nèi)徑大于安裝孔1D的內(nèi)徑。在這種情況下，所述緊固螺栓2的第一螺紋桿2A的直徑大于螺釘4的第二螺紋桿4A的直徑。[0041] 在本實用新型中，所述緊固螺栓2的第一螺紋桿2A、釘型腿3、螺釘4的第二螺紋桿4A均為全螺紋螺柱式。

[0042] 在本實用新型中，樣品臺本體1的材質(zhì)為黃銅，在保證所需力學(xué)性能的同時，導(dǎo)電性強(qiáng)，抗干擾性好，緊固螺栓2、釘型腿3和螺釘4的材質(zhì)也為黃銅，這些與樣品臺本體1上的螺紋孔具有相同材質(zhì)有利于減少螺紋的磨損。另外，網(wǎng)狀壓板5的材質(zhì)也可為黃銅。[0043] 在本實用新型使用時，操作人員首先將樣品放入樣品臺本體1的樣品槽1A中，然后根據(jù)樣品的形狀和大小選擇適配長度的緊固螺栓2和釘型腿3，通過調(diào)整釘型腿3使樣品的上端(最高處)與樣品槽1A上端目測保持基本水平，并且通過調(diào)整緊固螺栓2使樣品目測基本位于樣品槽1A中間處，調(diào)整好樣品的位置后將緊固螺栓2和釘型腿3擰緊直至頂緊固定好樣品，最后將本實用新型的樣品臺通過釘型腿3的另一端連接到掃描電子顯微鏡中的樣架上。對于一些強(qiáng)磁性樣品，還可以通過螺釘4將網(wǎng)狀壓板5覆蓋固定在樣品臺本體上端，以進(jìn)一步防止樣品測試時被吸附到極靴上。此外，對于一些導(dǎo)電性較差的樣品或是為避免螺紋桿對樣品表面造成磨損，可以通過用導(dǎo)電膠帶或?qū)щ娿y膠將石墨墊片連接在緊固螺栓2和釘型腿3的底端。[0044] 以上實施方式對本實用新型進(jìn)行了說明，但本實用新型不限于上述具體實施方式，凡基于本實用新型所作的任何改變、修飾、替代、組合或者變形均屬于本實用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍。