權(quán)利要求書： 1.掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，其特征在于：包括樣品基座(1)及插設(shè)于所述樣品基座(1)上的樣品臺(2)，沿著所述樣品臺(2)邊沿插設(shè)有多個樣品支座(3)；

所述樣品支座(3)的內(nèi)端插入所述樣品臺(2)，所述樣品支座(3)的上表面開設(shè)有豎向凹槽(31)，所述豎向凹槽(31)的一端穿出所述樣品支座(3)的外端，所述樣品支座(3)的外壁設(shè)有第一斜面(32)和第二斜面(33)，第一斜面(32)和第二斜面(33)分別位于所述豎向凹槽(31)的兩側(cè)，所述第一斜面(32)和第二斜面(33)的上沿分別延伸至所述豎向凹槽(31)的槽口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，其特征在于：所述樣品臺(2)為矩形，所述樣品臺(2)的側(cè)壁均開設(shè)有倒T型槽，所述樣品支座(3)為倒T型座，所述倒T型座與所述倒T型槽滑動配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，其特征在于：還包括鎖緊螺栓(4)和定位板(5)，所述鎖緊螺栓(4)活動穿過所述定位板(5)的中心后，與所述樣品臺(2)的中心螺紋連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，其特征在于：所述第一斜面(32)與第二斜面(33)的傾角不相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，其特征在于：所述樣品臺(2)底部設(shè)有支柱(6)，所述樣品基座(1)上開設(shè)有固定孔(7)，所述固定孔(7)與所述支柱(6)一一對應(yīng)。

說明書： 掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及檢測設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置。背景技術(shù)[0002] 掃描電子顯微鏡因?yàn)槠溆^測尺度跨幅大，能夠分析的微區(qū)面積大可到達(dá)平方毫米的量級，小可至平方微米的量級，圖像的幾何分辨率可達(dá)到或優(yōu)于納米級。其樣品制備相對簡單，附件以及其他功能豐富。目前，掃描電鏡已廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、材料、冶金、礦物、地質(zhì)、生物等領(lǐng)域，是科研、生產(chǎn)等領(lǐng)域中應(yīng)用最廣泛的顯微分析儀器之一，是當(dāng)前必不可少的分析手段。樣品臺是SEM的關(guān)鍵部件之一，它用以承載樣品，并通過電子束掃描系統(tǒng)成像表征樣品的局部特征。然而，目前SEM常用的樣品臺對裝載樣品的斷面斜面觀察有一定的限制，只適用于平面或斷面的觀察，不能在一個樣品臺上觀察到樣品的斜面、平面及斷面樣品形貌；當(dāng)需要對樣品的平面、斷面及斜面進(jìn)行觀測時，需要選擇多個類型不同的樣品臺并先后進(jìn)樣，增加了掃描電子顯微鏡的觀測時間，影響觀測效率。實(shí)用新型內(nèi)容

[0003] 為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置。[0004] 本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下：掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，關(guān)鍵在于：包括樣品基座及插設(shè)于所述樣品基座上的樣品臺，沿著所述樣品臺邊沿插設(shè)有多個樣品支座；[0005] 所述樣品支座的內(nèi)端插入所述樣品臺，所述樣品支座的上表面開設(shè)有豎向凹槽，所述豎向凹槽的一端穿出所述樣品支座的外端，所述樣品支座的外壁設(shè)有第一斜面和第二斜面，第一斜面和第二斜面分別位于所述豎向凹槽的兩側(cè)，所述第一斜面和第二斜面的上沿分別延伸至所述豎向凹槽的槽口。[0006] 優(yōu)選的，所述樣品臺為矩形，所述樣品臺的側(cè)壁均開設(shè)有倒T型槽，所述樣品支座為倒T型座，所述倒T型座與所述倒T型槽滑動配合。[0007] 優(yōu)選的，還包括鎖緊螺栓和定位板，所述鎖緊螺栓活動穿過所述定位板的中心后，與所述樣品臺的中心螺紋連接。[0008] 優(yōu)選的，所述第一斜面與第二斜面的傾角不相同。[0009] 優(yōu)選的，所述樣品臺底部設(shè)有支柱，所述樣品基座上開設(shè)有固定孔，所述固定孔與所述支柱一一對應(yīng)。[0010] 有益效果：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，結(jié)構(gòu)合理，可以通過多個樣品臺同時裝載多種樣品進(jìn)行觀察，同一樣品支座上的豎向凹槽、第一斜面和第二斜面可以用于觀察樣品的斜面、平面及斷面樣品形貌，無需選擇多個類型不同的樣品臺并先后進(jìn)樣，減少了掃描電子顯微鏡的觀測時間，提高了觀測效率。附圖說明[0011] 圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；[0012] 圖2為圖1的俯視圖；[0013] 圖3為樣品支座的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式[0014] 為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好的理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型作詳細(xì)說明。[0015] 如圖1?3中所示，掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，包括樣品基座1及插設(shè)于所述樣品基座1上的樣品臺2，沿著所述樣品臺2邊沿插設(shè)有多個樣品支座3；[0016] 所述樣品支座3的內(nèi)端插入所述樣品臺2，所述樣品支座3的上表面開設(shè)有豎向凹槽31，所述豎向凹槽31的一端穿出所述樣品支座3的外端，所述樣品支座3的外壁設(shè)有第一斜面32和第二斜面33，第一斜面32和第二斜面33分別位于所述豎向凹槽31的兩側(cè)，所述第一斜面32和第二斜面33的上沿分別延伸至所述豎向凹槽31的槽口。各樣品支座上分別裝載不同的樣品進(jìn)行觀察，同一樣品支座上的豎向凹槽的槽底可用于樣品平面觀察，豎向凹槽的側(cè)壁可用于端面觀察，第一斜面和第二斜面可以用于樣品的斜面觀察。[0017] 本實(shí)施例中，所述樣品臺2為矩形，所述樣品臺2的側(cè)壁均開設(shè)有倒T型槽，所述樣品支座3為倒T型座，所述倒T型座與所述倒T型槽滑動配合。樣品支座和樣品臺滑動配合，使得樣品更換方便、快捷。[0018] 本實(shí)施例中，還包括鎖緊螺栓4和定位板5，所述鎖緊螺栓4活動穿過所述定位板5的中心后，與所述樣品臺2的中心螺紋連接。通過旋緊鎖緊螺栓，將定位板與各樣品支座壓緊，從而將樣品支座與樣品固定。[0019] 本實(shí)施例中，所述第一斜面32與第二斜面33的傾角不相同?？梢詮牟煌膬A斜角度進(jìn)行樣品斜面形貌觀察，優(yōu)選的，第一斜面的傾角范圍為55°?65°，第二斜臺面的傾角范圍為25°?35°。[0020] 本實(shí)施例中，所述樣品臺2底部設(shè)有支柱6，所述樣品基座1上開設(shè)有固定孔7，所述固定孔7與所述支柱6一一對應(yīng)?？梢詫?shí)現(xiàn)樣品臺的有效固定，防止樣品在測試過程中發(fā)生漂移，優(yōu)選的，固定孔有5～11個，其中一個所述固定孔位于樣品基座的中心，剩余固定孔圍繞該中心固定孔均勻分布，支柱與固定孔一一對應(yīng)。[0021] 最后需要說明，上述描述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型的啟示下，在不違背本實(shí)用新型宗旨及權(quán)利要求的前提下，可以做出多種類似的表示，這樣的變換均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。