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      金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺

      470   編輯:中冶有色技術(shù)網(wǎng)   來源:上海蔡康光學(xué)儀器有限公司  
      2024-05-06 08:54:53
      權(quán)利要求書: 1.一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,包括基座(1),所述基座(1)的表面固定連接有連接架(2),所述連接架(2)的表面固定連接有觀察臺(3)和載片臺(4),其特征在于:所述載片臺(4)的內(nèi)部設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)(5),所述固定機(jī)構(gòu)(5)用于固定載玻片的位置;

      所述固定機(jī)構(gòu)(5)中包含有固定塊(51),所述載片臺(4)的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動塊(52),所述轉(zhuǎn)動塊(52)的表面開設(shè)有轉(zhuǎn)動槽(53),所述載片臺(4)的內(nèi)部通過塊與槽滑動連接有固定軸(54),所述固定軸(54)的表面固定連接有固定柱(55),所述轉(zhuǎn)動塊(52)的表面固定連接有操作塊(56),所述操作塊(56)的表面開設(shè)有操作槽(57),所述操作塊(56)的表面通過操作槽(57)滑動連接有操作桿(58),所述操作桿(58)的表面固定連接有操作軸(59),所述載片臺(4)的內(nèi)部開設(shè)有限位槽(510),所述固定塊(51)的內(nèi)部設(shè)置有伸縮機(jī)構(gòu)(6),所述伸縮機(jī)構(gòu)(6)用于調(diào)整固定位置的中心。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,其特征在于:所述伸縮機(jī)構(gòu)(6)中包含有滑動槽(61),所述固定塊(51)的內(nèi)部滑動連接有伸縮塊(62)。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,其特征在于:所述固定塊(51)和伸縮塊(62)的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動柱(63),所述固定塊(51)的內(nèi)部通過轉(zhuǎn)動柱(63)轉(zhuǎn)動連接有連接塊(64)。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,其特征在于:所述連接塊(64)的表面固定連接有連接軸(65),所述連接塊(64)的表面通過連接軸(65)轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)角桿(66)。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,其特征在于:所述轉(zhuǎn)角桿(66)的一端轉(zhuǎn)動連接有滑動軸(67),所述滑動軸(67)的表面與滑動槽(61)的內(nèi)表面滑動連接。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,其特征在于:所述轉(zhuǎn)角桿(66)的一端與滑動軸(67)的表面轉(zhuǎn)動連接。

      說明書: 一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實用新型涉及顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺。背景技術(shù)[0002] 目前實驗室會用金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體晶圓芯片或分立器件的表/截面,通過表/截面形貌的觀察與量測,了解產(chǎn)品構(gòu)造或封裝水平,以此為更好產(chǎn)品的生產(chǎn)提供數(shù)據(jù)支持,現(xiàn)有的金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺在進(jìn)行觀察時對載玻片的固定采用的是轉(zhuǎn)動的固定架固定,固定過程中載玻片可能偏移顯微鏡物鏡的中心位置,觀察時需要再次調(diào)整載玻片的位置,便于更好的尋找最佳的觀看位置,了解導(dǎo)體的性質(zhì),需要進(jìn)行多次調(diào)整且觀察過程中遇撞擊產(chǎn)生偏移,影響觀察結(jié)果,為此,本實用新型提供了一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺。實用新型內(nèi)容

      [0003] 針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實用新型提供了一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,解決了顯微鏡不能很好的固定載玻片的位置,固定過程中載玻片會產(chǎn)生偏移影響半導(dǎo)體的觀察的問題。[0004] 為實現(xiàn)以上目的,本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn):一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,包括基座,所述基座的表面固定連接有連接架,所述連接架的表面固定連接有觀察臺和載片臺,所述載片臺的內(nèi)部設(shè)置有固定機(jī)構(gòu),所述固定機(jī)構(gòu)用于固定載玻片的位置,所述固定機(jī)構(gòu)中包含有固定塊,所述載片臺的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動塊,所述轉(zhuǎn)動塊的表面開設(shè)有轉(zhuǎn)動槽,所述載片臺的內(nèi)部通過塊與槽滑動連接有固定軸,所述固定軸的表面固定連接有固定柱,所述轉(zhuǎn)動塊的表面固定連接有操作塊,所述操作塊的表面開設(shè)有操作槽,所述操作塊的表面通過操作槽滑動連接有操作桿,所述操作桿的表面固定連接有操作軸,所述載片臺的內(nèi)部開設(shè)有限位槽,所述固定塊的內(nèi)部設(shè)置有伸縮機(jī)構(gòu),所述伸縮機(jī)構(gòu)用于調(diào)整固定位置的中心。[0005] 優(yōu)選的,所述伸縮機(jī)構(gòu)中包含有滑動槽,所述固定塊的內(nèi)部滑動連接有伸縮塊。[0006] 優(yōu)選的,所述固定塊和伸縮塊的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動柱,所述固定塊的內(nèi)部通過轉(zhuǎn)動柱轉(zhuǎn)動連接有連接塊。[0007] 優(yōu)選的,所述連接塊的表面固定連接有連接軸,所述連接塊的表面通過連接軸轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)角桿。[0008] 優(yōu)選的,所述轉(zhuǎn)角桿的一端轉(zhuǎn)動連接有滑動軸,所述滑動軸的表面與滑動槽的內(nèi)表面滑動連接。[0009] 優(yōu)選的,所述轉(zhuǎn)角桿的一端與滑動軸的表面轉(zhuǎn)動連接。[0010] 有益效果[0011] 本實用新型提供了一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果:[0012] (1)、該金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,通過在載片臺的內(nèi)部設(shè)置固定機(jī)構(gòu),通過轉(zhuǎn)動塊和轉(zhuǎn)動槽的位置的改變使固定塊之間的相對位置被改變,轉(zhuǎn)動塊使用透光材料制作,便于觀察,固定塊的位置會根據(jù)轉(zhuǎn)動塊的改變進(jìn)行同步改變,便于載玻片的中心位置與物鏡的中心相對于,便于觀察載玻片內(nèi)部的半導(dǎo)體樣本,同時采用固定載玻片四面的方式固定載玻片的位置,促使各方面的力難以改變載玻片的位置,使載玻片偏移,觀察過程中不會使觀察的視角被改變,便于細(xì)致觀察。[0013] (2)、該金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,通過在固定塊的內(nèi)部設(shè)置伸縮機(jī)構(gòu),在固定塊的表面開設(shè)滑動槽,促使滑動軸可以在一定的軌跡上進(jìn)行滑動,滑動軸的滑動通過連接塊和轉(zhuǎn)角桿之間的角度的改變促使伸縮塊的位置發(fā)生改變,滑動軸的位置被限制,進(jìn)而限制伸縮塊的移動方向,伸縮塊的位置可以改變,可以根據(jù)載玻片的厚度改變伸縮塊的高度,更準(zhǔn)確穩(wěn)定的固定載玻片的位置,使載玻片的位置難以改變。附圖說明[0014] 圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)正視圖;[0015] 圖2為本實用新型的載片臺的結(jié)構(gòu)俯視圖;[0016] 圖3為本實用新型的圖2中A處的局部放大圖;[0017] 圖4為本實用新型的伸縮塊的結(jié)構(gòu)正視圖。[0018] 圖中:1?基座、2?連接架、3?觀察臺、4?載片臺、5?固定機(jī)構(gòu)、51?固定塊、52?轉(zhuǎn)動塊、53?轉(zhuǎn)動槽、54?固定軸、55?固定柱、56?操作塊、57?操作槽、58?操作桿、59?操作軸、510?限位槽、6?伸縮機(jī)構(gòu)、61?滑動槽、62?伸縮塊、63?轉(zhuǎn)動柱、64?連接塊、65?連接軸、66?轉(zhuǎn)角桿、67?滑動軸。具體實施方式[0019] 下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。[0020] 請參閱圖1?4,本實用新型提供兩種技術(shù)方案:[0021] 實施例一[0022] 一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,包括基座1,基座1的表面固定連接有連接架2,連接架2的表面固定連接有觀察臺3和載片臺4,載片臺4的內(nèi)部設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)5,固定機(jī)構(gòu)5用于固定載玻片的位置,固定機(jī)構(gòu)5中包含有固定塊51,載片臺4的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動塊52,轉(zhuǎn)動塊52和載片臺4由透光材料制作而成,轉(zhuǎn)動塊52的表面開設(shè)有轉(zhuǎn)動槽53,載片臺4的內(nèi)部通過塊與槽滑動連接有固定軸54,固定塊51的表面與固定軸54的表面固定連接,固定軸54的表面固定連接有固定柱55,固定柱55的表面與轉(zhuǎn)動槽53的內(nèi)表面滑動連接,轉(zhuǎn)動塊52的表面固定連接有操作塊56,操作塊56的表面開設(shè)有操作槽57,操作塊56的表面通過操作槽57滑動連接有操作桿58,操作桿58的表面固定連接有操作軸59,操作軸59的表面與操作槽57的內(nèi)表面滑動連接,載片臺4的內(nèi)部開設(shè)有限位槽510,固定塊51的內(nèi)部設(shè)置有伸縮機(jī)構(gòu)6,伸縮機(jī)構(gòu)6用于調(diào)整固定位置的中心,在載片臺4的內(nèi)部設(shè)置固定機(jī)構(gòu)5,通過轉(zhuǎn)動塊52和轉(zhuǎn)動槽53的位置的改變使固定塊51之間的相對位置被改變,轉(zhuǎn)動塊52使用透光材料制作,便于觀察,固定塊51的位置會根據(jù)轉(zhuǎn)動塊52的改變進(jìn)行同步改變,便于載玻片的中心位置與物鏡的中心相對于,便于觀察載玻片內(nèi)部的半導(dǎo)體樣本,同時采用固定載玻片四面的方式固定載玻片的位置,促使各方面的力難以改變載玻片的位置,使載玻片偏移,觀察過程中不會使觀察的視角被改變,便于細(xì)致觀察。[0023] 實施例二[0024] 一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺,包括基座1,基座1的表面固定連接有連接架2,連接架2的表面固定連接有觀察臺3和載片臺4,載片臺4的內(nèi)部設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)5,固定機(jī)構(gòu)5用于固定載玻片的位置,固定機(jī)構(gòu)5中包含有固定塊51,載片臺4的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動塊52,轉(zhuǎn)動塊52和載片臺4由透光材料制作而成,轉(zhuǎn)動塊52的表面開設(shè)有轉(zhuǎn)動槽53,載片臺4的內(nèi)部通過塊與槽滑動連接有固定軸54,固定塊51的表面與固定軸54的表面固定連接,固定軸54的表面固定連接有固定柱55,固定柱55的表面與轉(zhuǎn)動槽53的內(nèi)表面滑動連接,轉(zhuǎn)動塊52的表面固定連接有操作塊56,操作塊56的表面開設(shè)有操作槽57,操作塊56的表面通過操作槽57滑動連接有操作桿58,操作桿58的表面固定連接有操作軸59,操作軸59的表面與操作槽57的內(nèi)表面滑動連接,載片臺4的內(nèi)部開設(shè)有限位槽510,固定塊51的內(nèi)部設(shè)置有伸縮機(jī)構(gòu)6,伸縮機(jī)構(gòu)6用于調(diào)整固定位置的中心,在載片臺4的內(nèi)部設(shè)置固定機(jī)構(gòu)5,通過轉(zhuǎn)動塊52和轉(zhuǎn)動槽53的位置的改變使固定塊51之間的相對位置被改變,轉(zhuǎn)動塊52使用透光材料制作,便于觀察,固定塊51的位置會根據(jù)轉(zhuǎn)動塊52的改變進(jìn)行同步改變,便于載玻片的中心位置與物鏡的中心相對于,便于觀察載玻片內(nèi)部的半導(dǎo)體樣本,同時采用固定載玻片四面的方式固定載玻片的位置,促使各方面的力難以改變載玻片的位置,使載玻片偏移,觀察過程中不會使觀察的視角被改變,便于細(xì)致觀察,伸縮機(jī)構(gòu)6中包含有滑動槽61,固定塊51的內(nèi)部滑動連接有伸縮塊62,固定塊51和伸縮塊62的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動柱63,固定塊51的內(nèi)部通過轉(zhuǎn)動柱63轉(zhuǎn)動連接有連接塊64,連接塊64的表面固定連接有連接軸65,連接塊64的表面通過連接軸65轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)角桿66,轉(zhuǎn)角桿66的一端轉(zhuǎn)動連接有滑動軸67,滑動軸67的表面與滑動槽61的內(nèi)表面滑動連接,轉(zhuǎn)角桿66的一端與滑動軸67的表面轉(zhuǎn)動連接,在固定塊51的內(nèi)部設(shè)置伸縮機(jī)構(gòu)6,在固定塊51的表面開設(shè)滑動槽61,促使滑動軸67可以在一定的軌跡上進(jìn)行滑動,滑動軸67的滑動通過連接塊64和轉(zhuǎn)角桿66之間的角度的改變促使伸縮塊62的位置發(fā)生改變,滑動軸67的位置被限制,進(jìn)而限制伸縮塊62的移動方向,伸縮塊

      62的位置可以改變,可以根據(jù)載玻片的厚度改變伸縮塊62的高度,更準(zhǔn)確穩(wěn)定的固定載玻片的位置,使載玻片的位置難以改變。

      [0025] 同時本說明書中未作詳細(xì)描述的內(nèi)容均屬于本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的現(xiàn)有技術(shù)。[0026] 使用時,首先在載片臺4的中心位置放置載玻片,拉動滑動軸67,使滑動軸67在滑動槽61的內(nèi)表面滑動,滑動軸67的滑動帶動連接軸65和轉(zhuǎn)角桿66旋轉(zhuǎn),帶動伸縮塊62滑動,改變可以固定的物品的高度,然后向載片臺4的中心位置按動操作桿58,操作桿58的滑動通過操作軸59帶動操作塊56在操作槽57的內(nèi)表面滑動,此時滑動操作塊56,操作塊56的滑動帶動轉(zhuǎn)動塊52轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動塊52帶動轉(zhuǎn)動槽53的相對位置發(fā)生改變,轉(zhuǎn)動槽53的移動帶動固定柱55移動,固定柱55的移動帶動固定軸54發(fā)生移動,進(jìn)而帶動固定塊51之間的相對距離發(fā)生變化,固定塊51固定載玻片后,拉動操作桿58,使操作桿58帶動操作塊56恢復(fù)原狀,限制轉(zhuǎn)動塊52的再次旋轉(zhuǎn),避免轉(zhuǎn)動塊52受到力的作用旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致載玻片的位置產(chǎn)生偏移,此時,載玻片的位置被固定,不會輕易偏移,便于后續(xù)的載玻片觀察。[0027] 需要說明的是,在本文中,諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來,而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且,術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。[0028] 盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型,本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。



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      “金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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