權(quán)利要求書： 1.一種傳送桿，其特征在于，包括：載體；

夾取裝置，設(shè)置在所述載體上，所述夾取裝置包括固定部、活動(dòng)部以及推桿，所述固定部固定設(shè)置在所述載體上，所述活動(dòng)部可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述載體上，所述推桿與所述活動(dòng)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述推桿相對(duì)所述活動(dòng)部轉(zhuǎn)動(dòng)的軸線與所述活動(dòng)部相對(duì)所述載體轉(zhuǎn)動(dòng)的軸線之間不同軸；

第一驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)置在所述載體上，所述推桿用于接收所述第一驅(qū)動(dòng)裝置的施力，以便推動(dòng)所述活動(dòng)部相對(duì)于所述載體轉(zhuǎn)動(dòng)，用于驅(qū)動(dòng)所述夾取裝置動(dòng)作，以便使所述夾取裝置夾緊或松開(kāi)樣品臺(tái)；

第二驅(qū)動(dòng)裝置，與所述載體相接，用于驅(qū)動(dòng)所述載體在第一方向和第二方向上運(yùn)動(dòng)，以便帶動(dòng)所述夾取裝置在所述第一方向和所述第二方向上運(yùn)動(dòng)，使得所述夾取裝置可以伸入或退出掃描電鏡的真空倉(cāng)，其中所述第一方向和所述第二方向相反。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送桿，其特征在于，所述載體包括第一管體，所述夾取裝置設(shè)置在所述第一管體的第一端，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置在所述第一管體內(nèi)，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置與所述第一管體的第二端相接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送桿，其特征在于，所述夾取裝置包括：固定部，與所述第一管體的第一端固定連接；

活動(dòng)部，與所述第一管體的第一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述活動(dòng)部相對(duì)所述第一管體轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使所述活動(dòng)部靠近所述固定部或遠(yuǎn)離所述固定部，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品臺(tái)的夾緊或松開(kāi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳送桿，其特征在于，所述推桿穿設(shè)在所述第一管體內(nèi)，并與所述活動(dòng)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，其中，所述推桿相對(duì)所述活動(dòng)部轉(zhuǎn)動(dòng)的軸線與所述活動(dòng)部相對(duì)所述第一管體轉(zhuǎn)動(dòng)的軸線之間不同軸；所述推桿用于接收所述第一驅(qū)動(dòng)裝置的施力，以便推動(dòng)所述活動(dòng)部相對(duì)于所述第一管體轉(zhuǎn)動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳送桿，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括電磁鐵，所述電磁鐵設(shè)置在所述第一管體內(nèi)，所述電磁鐵通電后能夠驅(qū)動(dòng)所述推桿在所述第一方向上運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使所述活動(dòng)部相對(duì)于所述第一管體轉(zhuǎn)動(dòng)；及/或所述載體還包括第一支撐環(huán)，所述第一支撐環(huán)的外壁與所述第一管體的內(nèi)壁緊配合，所述推桿穿設(shè)在所述第一支撐環(huán)內(nèi)，并可在所述第一方向和所述第二方向上相對(duì)所在第一支撐環(huán)運(yùn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳送桿，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置還包括彈性件，所述推桿在所述第一方向上運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)所述彈性件施力，使所述彈性件產(chǎn)生形變，以便在所述電磁鐵斷電時(shí)通過(guò)所述彈性件的彈力使所述推桿復(fù)位。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送桿，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置包括：支撐件，所述第一管體設(shè)置在所述支撐件上，并可以在所述第一方向和所述第二方向上相對(duì)所述支撐件運(yùn)動(dòng)；

電機(jī)，所述電機(jī)的機(jī)體固定在所述支撐件上；

齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的齒輪與所述電機(jī)的主軸相接，所述齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的齒條與所述第一管體的第二端相接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳送桿，其特征在于，所述支撐件包括第二管體和第二支撐環(huán)，所述電機(jī)固定在所述第二管體上，所述第二支撐環(huán)的外壁與所述第二管體的內(nèi)壁緊配合，所述第一管體穿設(shè)在所述第二支撐環(huán)內(nèi)，并可在第一方向和第二方向上相對(duì)所述第二支撐環(huán)運(yùn)動(dòng)；及/或

所述第二驅(qū)動(dòng)裝置還包括兩個(gè)導(dǎo)電滑軌和兩個(gè)電刷，兩個(gè)所述導(dǎo)電滑軌分別設(shè)置在所述齒條的兩側(cè)，兩個(gè)所述導(dǎo)電滑軌分別與電磁鐵的接線端電性連接；兩個(gè)所述電刷分別與兩個(gè)所述導(dǎo)電滑軌電性接觸，兩個(gè)所述電刷分別與電源的兩個(gè)電極相接；其中，所述導(dǎo)電滑軌可以在所述第一方向和所述第二方向上相對(duì)所述電刷滑動(dòng)，且所述導(dǎo)電滑軌相對(duì)所述電刷滑動(dòng)時(shí)，二者保持電性接觸。

9.一種掃描電鏡，其特征在于，包括：真空倉(cāng)；

樣品臺(tái)，用于支撐放置樣品；以及如權(quán)利要求1?8任意一項(xiàng)所述的傳送桿，用于將所述樣品臺(tái)放置在所述真空倉(cāng)內(nèi)，或者用于將所述樣品臺(tái)從所述真空倉(cāng)內(nèi)取出。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掃描電鏡，其特征在于，所述樣品臺(tái)上設(shè)有連接孔和卡口；

所述傳送桿的固定部可以伸入所述連接孔內(nèi)，所述傳送桿的活動(dòng)部上設(shè)有與所述卡口匹配的卡塊；其中，所述活動(dòng)部朝向所述固定部轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述卡塊能夠卡在所述卡口內(nèi)，所述活動(dòng)部遠(yuǎn)離所述固定部轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述卡塊能夠從所述卡口內(nèi)退出。

說(shuō)明書： 傳送桿及掃描電鏡技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及掃描電鏡技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種傳送桿及掃描電鏡。背景技術(shù)[0002] 掃描電鏡是一種電子光學(xué)顯像儀器，采用極細(xì)的電子束在樣品表面掃描，高能電子射束與物質(zhì)之交互作用，產(chǎn)生了各種訊號(hào)，這些訊號(hào)，經(jīng)由適當(dāng)之檢測(cè)器(Detector)接收

后，經(jīng)放大器(Amplifier)放大，然后送到顯像管(BraunTube)上成像。

[0003] 使用掃描電鏡時(shí)需要先將樣品放置在樣品臺(tái)上，然后將傳送桿與樣品臺(tái)連接，并利用傳送桿將放置有樣品的樣品臺(tái)送入真空倉(cāng)內(nèi)，隨后再將傳送桿與樣品臺(tái)分開(kāi)取出傳送

桿，使樣品臺(tái)保留在真空倉(cāng)內(nèi)，進(jìn)行掃描。掃描完成后，先將傳送桿伸入真空倉(cāng)內(nèi)與樣品臺(tái)

連接，然后利用真空桿將樣品臺(tái)從真空倉(cāng)移出，隨后再將傳送桿與樣品臺(tái)分開(kāi)，從而完成樣

品的一次送樣取樣操作。然而，利用現(xiàn)有的傳送桿對(duì)樣品進(jìn)行送樣和取樣操作時(shí)，各步驟均

是通過(guò)手動(dòng)完成、操作繁瑣。

發(fā)明內(nèi)容[0004] 本發(fā)明提供一種傳送桿及掃描電鏡，旨在使樣品的送樣和取樣操作更加簡(jiǎn)單方便。

[0005] 一種傳送桿，包括：載體；夾取裝置，設(shè)置在所述載體上；第一驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)置在所述載體上，用于驅(qū)動(dòng)所述夾取裝置動(dòng)作，以便使所述夾取裝置夾緊或松開(kāi)樣品臺(tái)；第二驅(qū)動(dòng)

裝置，與所述載體相接，用于驅(qū)動(dòng)所述載體在第一方向和第二方向上運(yùn)動(dòng)，以便帶動(dòng)所述夾

取裝置在所述第一方向和所述第二方向上運(yùn)動(dòng)，使得所述夾取裝置可以伸入或退出掃描電

鏡的真空倉(cāng)，其中所述第一方向和所述第二方向相反。

[0006] 進(jìn)一步的，所述載體包括第一管體，所述夾取裝置設(shè)置在所述第一管體的第一端，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置在所述第一管體內(nèi)，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置與所述第一管體的第二端相

接。

[0007] 進(jìn)一步的，所述夾取裝置包括：固定部，與所述第一管體的第一端固定連接；活動(dòng)部，與所述第一管體的第一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述活動(dòng)部相對(duì)所述

第一管體轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使所述活動(dòng)部靠近所述固定部或遠(yuǎn)離所述固定部，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品臺(tái)

的夾緊或松開(kāi)。

[0008] 進(jìn)一步的，所述夾取裝置還包括推桿，所述推桿穿設(shè)在所述第一管體內(nèi)，并與所述活動(dòng)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，其中，所述推桿相對(duì)所述活動(dòng)部轉(zhuǎn)動(dòng)的軸線與所述活動(dòng)部相對(duì)所述第一

管體轉(zhuǎn)動(dòng)的軸線之間不同軸；所述推桿用于接收所述第一驅(qū)動(dòng)裝置的施力，以便推動(dòng)所述

活動(dòng)部相對(duì)于所述第一管體轉(zhuǎn)動(dòng)。

[0009] 進(jìn)一步的，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括電磁鐵，所述電磁鐵設(shè)置在所述第一管體內(nèi)，所述電磁鐵通電后能夠驅(qū)動(dòng)所述推桿在所述第一方向上運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使所述活動(dòng)部相對(duì)于所述

第一管體轉(zhuǎn)動(dòng)；及/或所述載體還包括第一支撐環(huán)，所述第一支撐環(huán)的外壁與所述第一管體

的內(nèi)壁緊配合，所述推桿穿設(shè)在所述第一支撐環(huán)內(nèi)，并可在所述第一方向和所述第二方向

上相對(duì)所在第一支撐環(huán)運(yùn)動(dòng)。

[0010] 進(jìn)一步的，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置還包括彈性件，所述推桿在所述第一方向上運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)所述彈性件施力，使所述彈性件產(chǎn)生形變，以便在所述電磁鐵斷電時(shí)通過(guò)所述彈性件

的彈力使所述推桿復(fù)位。

[0011] 進(jìn)一步的，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置包括：支撐件，所述第一管體設(shè)置在所述支撐件上，并可以在所述第一方向和所述第二方向上相對(duì)所述支撐件運(yùn)動(dòng)；電機(jī)，所述電機(jī)的機(jī)體固

定在所述支撐件上；齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的齒輪與所述電機(jī)的

主軸相接，所述齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的齒條與所述第一管體的第二端相接。

[0012] 進(jìn)一步的，所述支撐件包括：第二管體和第二支撐環(huán)，所述電機(jī)固定在所述第二管體上，所述第二支撐環(huán)的外壁與所述第二管體的內(nèi)壁緊配合，所述第一管體穿設(shè)在所述第

二支撐環(huán)內(nèi)，并可在第一方向和第二方向上相對(duì)所述第二支撐環(huán)運(yùn)動(dòng)；及/或所述第二驅(qū)動(dòng)

裝置還包括：兩個(gè)導(dǎo)電滑軌和兩個(gè)電刷，兩個(gè)所述導(dǎo)電滑軌分別設(shè)置在所述齒條的兩側(cè)，兩

個(gè)所述導(dǎo)電滑軌分別與電磁鐵的接線端電性連接；兩個(gè)所述電刷分別與兩個(gè)所述導(dǎo)電滑軌

電性接觸，兩個(gè)所述電刷分別與電源的兩個(gè)電極相接；其中，所述導(dǎo)電滑軌可以在所述第一

方向和所述第二方向上相對(duì)所述電刷滑動(dòng)，且所述導(dǎo)電滑軌相對(duì)所述電刷滑動(dòng)時(shí)，二者保

持電性接觸。

[0013] 一種掃描電鏡，包括：真空倉(cāng)；樣品臺(tái)，用于支撐放置樣品；傳送桿，用于將所述樣品臺(tái)放置在所述真空倉(cāng)內(nèi)，或者用于將所述樣品臺(tái)從所述真空倉(cāng)內(nèi)取出，其中所述傳送桿

如上任意一項(xiàng)所述。

[0014] 進(jìn)一步的，所述樣品臺(tái)上設(shè)有連接孔和卡口；所述傳送桿的固定部可以伸入所述連接孔內(nèi)，所述傳送桿的活動(dòng)部上設(shè)有與所述卡口匹配的卡塊；其中，所述活動(dòng)部朝向所述

固定部轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述卡塊可以卡在所述卡口內(nèi)，所述活動(dòng)部遠(yuǎn)離所述固定部轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述卡

塊可以從所述卡口內(nèi)退出。

[0015] 本發(fā)明提供的傳送桿在進(jìn)行送樣和取樣時(shí)，可以通過(guò)控制第一驅(qū)動(dòng)裝置來(lái)使夾取裝置夾緊或松開(kāi)樣品圖，通過(guò)控制第二驅(qū)動(dòng)裝置來(lái)驅(qū)動(dòng)載體伸入或退出掃描電鏡的真空

倉(cāng)，整個(gè)過(guò)程無(wú)需經(jīng)過(guò)繁瑣的操作、簡(jiǎn)單方便。

附圖說(shuō)明[0016] 圖1為本發(fā)明提供的傳送桿與真空倉(cāng)配合使用的示意圖；[0017] 圖2為本發(fā)明提供的傳送桿的局部剖面示意圖；[0018] 圖3為本發(fā)明提供的樣品臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；[0019] 圖4為本發(fā)明提供的樣品臺(tái)的俯視圖；[0020] 圖5為本發(fā)明提供的圖2中C?C向的剖面示意圖；[0021] 圖6為本發(fā)明提供的傳送桿的側(cè)面投影視圖。具體實(shí)施方式[0022] 為了便于理解本發(fā)明，下面將參照相關(guān)附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了本發(fā)明的較佳實(shí)施方式。但是，本發(fā)明可以以許多不同的形式來(lái)實(shí)現(xiàn)，并不限于本文

所描述的實(shí)施方式。相反地，提供這些實(shí)施方式的目的是使對(duì)本發(fā)明的公開(kāi)內(nèi)容理解的更

加透徹全面。

[0023] 需要說(shuō)明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于、安裝于，或者設(shè)于”另一個(gè)元件等類似語(yǔ)言時(shí)，它可以直接在另一個(gè)元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是“連接或

相接”另一個(gè)元件，它可以是直接連接到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。

[0024] 除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本發(fā)明的說(shuō)明書中所使用的術(shù)語(yǔ)只是為了描述具

體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本發(fā)明。本文所使用的術(shù)語(yǔ)“及/或”包括一個(gè)或多個(gè)相

關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。

[0025] 如圖1所示，本發(fā)明提供了一種掃描電鏡，該掃描電鏡包括樣品臺(tái)100、傳送桿200以及真空倉(cāng)300。樣品臺(tái)100用于支撐放置樣品400，傳送桿200用于與樣品臺(tái)100連接，以將

樣品臺(tái)100放入真空倉(cāng)300內(nèi)的支撐臺(tái)301上，以便對(duì)樣品臺(tái)100上的樣品400進(jìn)行掃描檢測(cè)，

其中，樣品臺(tái)100放入真空倉(cāng)300后，傳送桿200與樣品臺(tái)100脫離連接，并退出真空倉(cāng)300。當(dāng)

對(duì)樣品400掃描檢測(cè)完畢以后，將傳送桿200伸入真空倉(cāng)300內(nèi)，使傳送桿200與樣品臺(tái)100連

接在一起，以便將樣品臺(tái)100取出，樣品臺(tái)100從真空倉(cāng)取出后，傳送桿200與樣品臺(tái)100脫離

連接。

[0026] 如圖2所示，在本實(shí)施例中，傳送桿200主要包括夾取裝置10、第一驅(qū)動(dòng)裝置20、載體30，以及第二驅(qū)動(dòng)裝置40。其中夾取裝置10和第一驅(qū)動(dòng)裝置20均設(shè)置在載體30上，第一驅(qū)

動(dòng)裝置20用于驅(qū)動(dòng)夾取裝置10動(dòng)作，以便夾緊或松開(kāi)樣品臺(tái)100。第二驅(qū)動(dòng)裝置40與載體30

相接，用于驅(qū)動(dòng)載體30在第一方向A和第二方向B上運(yùn)動(dòng)，以便帶動(dòng)夾取裝置10在第一方向A

和第二方向B上運(yùn)動(dòng)，使得所述夾取裝置10可以伸入或退出掃描電鏡的真空倉(cāng)，其中第一方

向A和第二方向B相反。其中，在本實(shí)施例中，載體30在第一方向A上運(yùn)動(dòng)時(shí)，可以帶動(dòng)夾取裝

置10伸入掃描電鏡的真空倉(cāng)，載體30在第二方向B上運(yùn)動(dòng)時(shí)，可以帶動(dòng)夾取裝置10退出掃描

電鏡的真空倉(cāng)300。

[0027] 如圖2所示，在本實(shí)施例中，夾取裝置10包括固定部1和活動(dòng)部2，其中固定部1固定設(shè)置在載體30上，活動(dòng)部2可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在載體30上，第一驅(qū)動(dòng)裝置20與活動(dòng)部2相接，用于

驅(qū)動(dòng)活動(dòng)部2相對(duì)載體30轉(zhuǎn)動(dòng)，即驅(qū)動(dòng)活動(dòng)部2相對(duì)固定部1轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使活動(dòng)部2靠近或遠(yuǎn)

離固定部1，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品臺(tái)100的夾緊或松開(kāi)。

[0028] 具體的，在本實(shí)施例中，活動(dòng)部2包括相互垂直設(shè)置的第一連接段21和第二連接段22，活動(dòng)部2大致成為L(zhǎng)形結(jié)構(gòu)，其中第一連接段21鉸接在載體30上，第二連接段22用于與固

定部1配合以?shī)A緊或松開(kāi)樣品臺(tái)100。

[0029] 如圖3所示，在本實(shí)施例中，樣品臺(tái)100上設(shè)有連接孔50，夾取裝置10夾持樣品臺(tái)100時(shí)，固定部1伸入連接孔50內(nèi)，活動(dòng)部2朝向固定部1轉(zhuǎn)動(dòng)，并抵接在樣品臺(tái)100上。需要夾

取裝置10松開(kāi)樣品臺(tái)100時(shí)，只需要驅(qū)動(dòng)活動(dòng)部2反向轉(zhuǎn)動(dòng)即可。

[0030] 另外，如圖3和圖4所示，在本實(shí)施例中，樣品臺(tái)100上還設(shè)有卡口60，活動(dòng)部2上設(shè)有與卡口60匹配的卡塊23，具體的卡塊23設(shè)置在活動(dòng)部2的第二連接段22上。夾取裝置10夾

持樣品臺(tái)100時(shí)，活動(dòng)部2朝向固定部1轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)活動(dòng)部2與樣品臺(tái)100抵接時(shí)，卡塊23可以卡

在卡口60內(nèi)，使夾取裝置10對(duì)樣品臺(tái)100的夾持更穩(wěn)定。當(dāng)夾取裝置10松開(kāi)樣品臺(tái)100時(shí)，活

動(dòng)部2遠(yuǎn)離固定部1轉(zhuǎn)動(dòng)，卡塊23可以從卡口60內(nèi)退出。

[0031] 如圖3所示，在本實(shí)施例中，樣品臺(tái)100大致呈梯形結(jié)構(gòu)，包括向背設(shè)置的上表面101和下表面102，以及位于樣品臺(tái)100的周向并依次相接的第一表面103、第二表面104、第

三表面105以及第四表面106。其中，上表面101用于放置樣品，第一表面103設(shè)有連接孔50，

第四表面106設(shè)有卡口60?？梢岳斫獾?，在其他實(shí)施例中，連接孔50和卡口60也可以是設(shè)置

在樣品臺(tái)100的其他表面。

[0032] 如圖2所示，在本實(shí)施例中，夾取裝置10還包括推桿3，推桿3設(shè)置在載體30上，可在第一方向A和第二方向B上相對(duì)于載體30運(yùn)動(dòng)。推桿3與活動(dòng)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，具體的，與活動(dòng)部2

的第一連接段21鉸接在一起。另外，在本實(shí)施例中，推桿3相對(duì)活動(dòng)部2轉(zhuǎn)動(dòng)的軸線與活動(dòng)部

2相對(duì)載體30轉(zhuǎn)動(dòng)的軸線之間不同軸。在本實(shí)施例中，推桿3用于接收第一驅(qū)動(dòng)裝置的施力，

以便推動(dòng)活動(dòng)部2相對(duì)于載體30轉(zhuǎn)動(dòng)。

[0033] 如圖2所示，在本實(shí)施例中，第一驅(qū)動(dòng)裝置20包括電磁鐵4和彈性件5。其中，電磁鐵4固定在載體30上，用于對(duì)推桿3施力，使其在第一方向A上運(yùn)動(dòng)。另外，在本實(shí)施例中，推桿3

具有磁性，電磁鐵4通電后能夠產(chǎn)生磁場(chǎng)以便驅(qū)動(dòng)推桿3在第一方向A上運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使活動(dòng)部

2相對(duì)于載體30轉(zhuǎn)動(dòng)。同時(shí)，推桿3在第一方向A上運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)彈性件5施力，使彈性件5產(chǎn)生

形變，這樣在電磁鐵4斷電時(shí)通過(guò)彈性件5的彈力使推桿3復(fù)位。

[0034] 在本實(shí)施例中，電磁鐵4位于推桿3遠(yuǎn)離活動(dòng)部2的一端，且在本實(shí)施例中，二者間隔設(shè)置。電磁鐵4通電后產(chǎn)生與推桿3相同的磁性，以便推動(dòng)推桿3在第一方向A上運(yùn)動(dòng)，從而

使活動(dòng)部2的第二連接段22與固定部1之間的間隔增大，從而可以使夾取裝置10松開(kāi)樣品臺(tái)

100。

[0035] 可以理解的，在其他實(shí)施例中，推桿3也可以沒(méi)有磁性，此時(shí)電磁鐵4具有一施力桿，電磁鐵4通電后該施力桿可在第一方向和第二方向上運(yùn)動(dòng)，此時(shí)該施力桿可以與推桿3

相接，以帶動(dòng)推桿3運(yùn)動(dòng)。

[0036] 另外，在本實(shí)施例中，彈性件5為彈簧，設(shè)置在推桿3遠(yuǎn)離電磁鐵4的一端，即推桿3在第一方向A上運(yùn)動(dòng)時(shí)，會(huì)擠壓彈性件5。具體的，如圖2和圖5所示，在本實(shí)施例中，推桿3為

圓柱體，推桿3遠(yuǎn)離電磁鐵4的一端的端設(shè)有缺口31，缺口31由該端的端面開(kāi)設(shè)并沿著第二

方向B延伸，其中缺口31在推桿3的徑向上貫穿推桿3，以在推桿3上形成一水平面32和一豎

直面33，二者互相垂直，其中水平面32與第一方向A平行。在本實(shí)施例中，載體30上設(shè)有抵擋

部30a，彈性件5設(shè)置在水平面32上，并位于載體30的抵擋部30a與豎直面33之間。

[0037] 可以理解的，在其他實(shí)施例中，彈性件5也可以位于推桿3遠(yuǎn)離活動(dòng)部2的一端，電磁鐵4位于推桿3遠(yuǎn)離彈性件5的一端。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，也可以省去彈性件5，此時(shí)電

磁鐵4正向通電時(shí)，驅(qū)動(dòng)推桿3在第一方向A上運(yùn)動(dòng)，反向通電時(shí)，驅(qū)動(dòng)推桿3在第二方向B上

運(yùn)動(dòng)。此外，在其他實(shí)施例中，推桿3也可以是方形柱等結(jié)構(gòu)設(shè)置。

[0038] 如圖2和圖5所示，在本實(shí)施例中，載體30包括第一管體6和第一支撐環(huán)7，第一支撐環(huán)7的外壁71與第一管體6的內(nèi)壁61相接，其中，第一支撐環(huán)7與第一管體6緊配合，比如，二

者之間可以是過(guò)盈配合。進(jìn)一步的，為了使第一支撐環(huán)7在第一管體6內(nèi)安裝的更穩(wěn)定，如圖

2所示，在本實(shí)施例中，第一管體6的內(nèi)壁61設(shè)有環(huán)形槽62，第一支撐環(huán)7嵌設(shè)在環(huán)形槽62內(nèi)。

[0039] 推桿3穿設(shè)在第一支撐環(huán)7內(nèi)，并可在第一方向A和第二方向B上相對(duì)第一支撐環(huán)7運(yùn)動(dòng)。即推桿3與第一支撐環(huán)7之間為松配合，比如二者之間間隙配合。另外，為了使推桿3在

第一方向A和第二方向B上運(yùn)動(dòng)的更穩(wěn)定，第一支撐環(huán)7的個(gè)數(shù)大于等于兩個(gè)，其中，在本實(shí)

施例中，第一支撐環(huán)7的個(gè)數(shù)為兩個(gè)，以方便組裝。可以理解的，在其他實(shí)施例中，也可以省

去第一支撐環(huán)，推桿3直接與第一管體6配合。

[0040] 如圖2所示，在本實(shí)施例中，第一管體6為圓管，具有第一端6a和第二端6b，第一端6a的端面設(shè)有開(kāi)口63，第二端6b的端面設(shè)有開(kāi)口64，開(kāi)口63和開(kāi)口64與第一管體6的中空部

位連通，即第一管體6為兩端開(kāi)口的圓管。夾取裝置10設(shè)置在第一管體6的第一端6a處，具體

的，固定部1固定連接在第一管體6第一端6a，活動(dòng)部2鉸接在第一管體6第一端6a，且活動(dòng)部

2與固定部1間隔設(shè)置。另外，電磁鐵4固定在第一管體6的內(nèi)部，第一管體6的第二端6b與第

二驅(qū)動(dòng)裝置40相接。此外，推桿3可以從開(kāi)口63處穿出第一管體6與活動(dòng)部2相接。

[0041] 在本實(shí)施例中，第一驅(qū)動(dòng)裝置20設(shè)置在第一管體6內(nèi)，即電磁鐵4設(shè)置在第一管體6內(nèi)，這樣不僅可以減小整個(gè)傳送桿的體積，還可以利用第一管體對(duì)第一驅(qū)動(dòng)裝置20進(jìn)行遮

擋保護(hù)。另外，在本實(shí)施例中，為了方便將電磁鐵4等器件設(shè)置在第一管體6內(nèi)，第一管體6可

以是由兩塊或多塊弧形板拼接組裝而成。

[0042] 另外，如圖2所示，抵擋部30a為設(shè)置在第一端6a的凸緣結(jié)構(gòu)，凸緣結(jié)構(gòu)有第一端6a的內(nèi)壁向內(nèi)延伸，凸緣結(jié)構(gòu)與第一管體6的中空部位相對(duì)，且凸緣結(jié)構(gòu)不完全封蓋第一端6a

的開(kāi)口63，彈性件5位于凸緣結(jié)構(gòu)和推桿3的豎直面33之間。

[0043] 可以理解的，在其他實(shí)施例中，載體30也可以的板狀、桿狀等結(jié)構(gòu)設(shè)置。[0044] 如圖2所示，在本實(shí)施例中，第二驅(qū)動(dòng)裝置40包括支撐件8，以及驅(qū)動(dòng)支撐件8在第一方向A和第二方向B上往復(fù)運(yùn)動(dòng)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)組件9；在本實(shí)施例中，電機(jī)驅(qū)動(dòng)組件9包括電

機(jī)91以及齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)92。其中，第一管體6設(shè)置在支撐件8上，并可以在第一方向A和

第二方向B上相對(duì)支撐件8運(yùn)動(dòng)；電機(jī)91的機(jī)體911固定在支撐件8上，齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)92

的齒輪921與電機(jī)91的主軸912相接，齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)92的齒條922與第一管體6的第二端

相接。另外，在實(shí)際使用時(shí)，第二管體81位置相對(duì)于掃描電鏡的真空倉(cāng)的位置是固定的，電

機(jī)91轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)會(huì)驅(qū)動(dòng)齒條922做直線運(yùn)動(dòng)?？梢岳斫獾?，在其他實(shí)施例中，齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)

92也可以采用絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)等替換。

[0045] 在本實(shí)施例中，電機(jī)91正轉(zhuǎn)時(shí)可以驅(qū)動(dòng)第一管體6第一方向A上運(yùn)動(dòng)，即驅(qū)動(dòng)第一管體6伸入掃描電鏡的真空倉(cāng)內(nèi)，進(jìn)而帶動(dòng)夾取裝置10進(jìn)入掃描電鏡的真空倉(cāng)內(nèi)。當(dāng)電機(jī)91

反轉(zhuǎn)時(shí)驅(qū)動(dòng)第一管體6在第二方向B上運(yùn)動(dòng)，即驅(qū)動(dòng)第一管體6退出掃描電鏡的真空倉(cāng)內(nèi)，進(jìn)

而帶動(dòng)夾取裝置10退出掃描電鏡的真空倉(cāng)內(nèi)。

[0046] 具體的，如圖2和圖5所示，在本實(shí)施例中，支撐件8包括第二管體81和第二支撐環(huán)82。在本實(shí)施例中，第二支撐環(huán)82的外壁821與第二管體81的內(nèi)壁811相接，其中，第二支撐

環(huán)82與第二管體81緊配合，比如，二者之間可以是過(guò)盈配合。進(jìn)一步的，為了使第二支撐環(huán)

82在第二管體81內(nèi)安裝的更穩(wěn)定，如圖2所示，在本實(shí)施例中，第二管體81的內(nèi)壁811設(shè)有環(huán)

形槽812，第二支撐環(huán)82嵌設(shè)在環(huán)形槽812內(nèi)。

[0047] 另外，在本實(shí)施例中，第二管體81具有第一端81a和第二端81b，第一端81a的端面設(shè)有開(kāi)口813，第二端81b的端面設(shè)有開(kāi)口814，開(kāi)口813和開(kāi)口814均與第二管體的中空部位

連通，即第二管體81也為兩端開(kāi)口的管體。如圖2所示，在本實(shí)施例中，電機(jī)91固定在第二管

體81的第二端81b處，第一管體6從第一端81a的開(kāi)口813處伸入第二管體81內(nèi)。

[0048] 第一管體6穿設(shè)在第二支撐環(huán)82內(nèi)，并可在第一方向A和第二方向B上相對(duì)第二支撐環(huán)82運(yùn)動(dòng)。即第一管體6與第二支撐環(huán)82之間為松配合，比如二者之間間隙配合。第一管

體6在第一方向A上運(yùn)動(dòng)時(shí)可以從開(kāi)口813處穿出第二管體81，齒條922可以從開(kāi)口814處伸

入第二管體81內(nèi)。

[0049] 另外，為了使第一在第一方向A和第二方向B上運(yùn)動(dòng)的更穩(wěn)定，第二支撐環(huán)82的個(gè)數(shù)大于等于兩個(gè)，其中，在本實(shí)施例中，第二支撐環(huán)82的個(gè)數(shù)為兩個(gè)，以方便組裝。在本實(shí)施

例中，第一管體6可以退入第二管體81內(nèi)，這樣可以進(jìn)一步降低傳送桿的體積，同時(shí)也可以

利用第二管體81對(duì)第一管體6進(jìn)行保護(hù)。

[0050] 如圖2和圖6所示，在本實(shí)施例中，第二驅(qū)動(dòng)裝置40還包括兩條導(dǎo)電滑軌401以及兩個(gè)電刷402。兩個(gè)導(dǎo)電滑軌401分析設(shè)置在齒條922的兩側(cè)，并且分別與電磁鐵4的兩個(gè)接線

端電性連接。其中，在本實(shí)施例中，電磁鐵4包括電磁線圈41和鐵芯42，電磁鐵4的兩個(gè)接線

端分別為電磁線圈41的兩端。兩個(gè)電刷402分別與兩個(gè)導(dǎo)電滑軌401電性接觸，且兩個(gè)電刷

402分別與電源的兩個(gè)電極相接；其中，導(dǎo)電滑軌401可以在第一方向A和第二方向B上相對(duì)

電刷402滑動(dòng)，且所述導(dǎo)電滑軌401相對(duì)電刷402滑動(dòng)時(shí)，二者也能保持電性接觸，即兩個(gè)電

刷402與電源的兩個(gè)電極連接后，便可對(duì)電磁線圈41進(jìn)行供電。

[0051] 另外，在本實(shí)施例中，電磁線圈41的兩端可以從第一管體6的第二端開(kāi)口64處伸出第一管體6，以便與兩個(gè)導(dǎo)電滑軌401相接?？梢岳斫獾模谄渌麑?shí)施例中，也可以是兩個(gè)導(dǎo)

電滑軌401從第一管體6的第二端開(kāi)口64處伸入第一管體6內(nèi)，以便與電磁線圈41的兩端連

接。

[0052] 此外，在本實(shí)施例中，齒條922采用鋼材制成，具有導(dǎo)電性，此時(shí)導(dǎo)電滑軌401與齒條922之間還設(shè)有絕緣層403(如圖6所示)。此外，在本實(shí)施例中，電源為直流電源，即電機(jī)91

為直流電機(jī)91，電磁鐵4為直流電磁鐵4。如圖6所示，在本實(shí)施例中，通過(guò)開(kāi)關(guān)K1控制電機(jī)91

的通斷電，通過(guò)開(kāi)關(guān)K2控制電磁鐵4的通斷電?？梢岳斫獾?，在本實(shí)施例中設(shè)有其他開(kāi)關(guān)來(lái)

控制電機(jī)91正反向通電，進(jìn)而控制電機(jī)91正反轉(zhuǎn)。當(dāng)然在實(shí)際使用時(shí)開(kāi)關(guān)K1為多位開(kāi)關(guān)，使

其可以同時(shí)具備控制電機(jī)91通斷電，以及控制電機(jī)91正反轉(zhuǎn)的功能。

[0053] 如圖1所示，在本實(shí)施例中真空倉(cāng)300外側(cè)還設(shè)有一交換倉(cāng)500，真空倉(cāng)300的倉(cāng)門(定義為第一倉(cāng)門302)打開(kāi)口真空倉(cāng)300與交換倉(cāng)500連通，交換倉(cāng)500也具有倉(cāng)門(定義為

第二倉(cāng)門501)，使用時(shí)，先將樣品400固定在樣品臺(tái)100上，然后打開(kāi)第二倉(cāng)門501將樣品臺(tái)

100放在交換倉(cāng)500內(nèi)。交換倉(cāng)500的側(cè)壁設(shè)有通孔502，傳送桿200的第一管體6可以帶動(dòng)夾

取裝置10從通孔502處伸入交換倉(cāng)500內(nèi)與樣品臺(tái)100連接，即夾取裝置10的固定部1伸入樣

品臺(tái)的連接孔50內(nèi)，活動(dòng)部2抵接在樣品臺(tái)的側(cè)壁，且卡塊23卡在卡口60內(nèi)。然后打開(kāi)第一

倉(cāng)門302，利用電機(jī)91正轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)第一管體6在第一方向上運(yùn)動(dòng)，使夾取裝置10帶動(dòng)樣品臺(tái)

100進(jìn)入真空倉(cāng)300內(nèi)，并將樣品臺(tái)100放置在支撐臺(tái)301上。隨后電磁鐵4通電驅(qū)動(dòng)推桿3在

第一方向上運(yùn)動(dòng)，使活動(dòng)部脫離樣品臺(tái)100(即夾取裝置松開(kāi)樣品臺(tái))，此時(shí)電機(jī)91反轉(zhuǎn)使第

一管體6退出真空倉(cāng)300，然后關(guān)閉第一倉(cāng)門302，完成樣品400的送樣操作?？梢岳斫?，通過(guò)

類似的做法，可以將樣品400從真空倉(cāng)300內(nèi)取出，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品400的取樣操作，本實(shí)施例在

此不做過(guò)多說(shuō)明。

[0054] 以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合，為使描述簡(jiǎn)潔，未對(duì)上述實(shí)施例中的各個(gè)技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存

在矛盾，都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說(shuō)明書記載的范圍。

[0055] 以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)

說(shuō)，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)

范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。