本發(fā)明提供了一種硅片切割廢砂漿的回收方法,包括以下步驟:a.硅片切割廢砂漿固液分離,得到固體砂料和液體份;b.步驟a中得到的液體份中加入脫色劑、離子吸附劑和助濾劑,固液分離,得到聚乙二醇切割回收液;c.步驟a中得到的固體砂料通過磁選分離去除金屬,得到硅與碳化硅的混合物;d.將步驟c中得到的硅與碳化硅的混合物在1425-1550℃下真空加熱;冷卻至室溫后篩網(wǎng)過濾,收集篩下的物質(zhì)得到碳化硅微粉,收集篩上的物質(zhì)得到硅塊;粉碎硅塊得到硅粉。本發(fā)明提供的回收方法非常環(huán)保,且對硅和碳化硅的分離較徹底,回收到的聚乙二醇、碳化硅和硅粉的純度較高。
聲明:
“硅片切割廢砂漿的回收方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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