本發(fā)明涉及一種工業(yè)清洗廢水的零排放處理工藝,屬于水處理技術領域。為了解決在對硅片表面去除硅片表面的污染物和自身氧化物的過程中所產生的大量廢水無較好的處理方法的問題,本發(fā)明公開了一種對清洗廢液的處理方法,本方法一方面能夠有效地回收其中的硅粉等固體,另一方面,能夠有效地對清洗液中的有效成分進行回收利用,同時,也能實現(xiàn)整個清洗液的零排放的效果。
聲明:
“工業(yè)清洗廢水的零排放處理工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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