本發(fā)明公開了一種硅片切割砂漿中碳化硅的
浮選工藝,包括固液分離、酸洗、加堿浮選和洗滌浮選產(chǎn)品等步驟。原始切割廢砂漿固體和回收的碳化硅微粉,由于機械力的作用顆粒形狀大小不一,且棱角分明;原始廢砂漿碳化硅表面粘結(jié)有破碎的鐵屑、硅及其他物質(zhì),而回收得到的碳化硅表面沒有該現(xiàn)象,且沒有其他新的基團。可以進行再次使用。
聲明:
“硅片切割砂漿中碳化硅的浮選工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)