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      一種高真空冷陰極電離規(guī)的性能檢測(cè)裝置

      808   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 06:14:54
      本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高真空冷陰極電離規(guī)的性能檢測(cè)裝置,用于檢測(cè)安裝在真空磁控濺射設(shè)備上的高真空冷陰極電離規(guī),高真空冷陰極電離規(guī)的性能檢測(cè)裝置包括真空室、用于對(duì)真空室抽真空的真空泵系統(tǒng),真空泵系統(tǒng)包括都與真空室相連接的渦輪分子泵、羅茨真空泵、旋片真空泵,高真空冷陰極電離規(guī)的性能檢測(cè)裝置還包括與真空室相連通的高真空冷陰極電離規(guī)、都與高真空冷陰極電離規(guī)相連通的直流電源和電壓表、以及與真空室相連通的皮拉尼真空計(jì)。該高真空冷陰極電離規(guī)的性能檢測(cè)裝置能夠方便地檢測(cè)高真空冷陰極電離規(guī)的性能,其結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單,檢測(cè)效率較高,能夠縮短真空磁控濺射設(shè)備的停機(jī)時(shí)間,降低對(duì)生產(chǎn)的影響。
      聲明:
      “一種高真空冷陰極電離規(guī)的性能檢測(cè)裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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