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      界面結(jié)合強度的準靜態(tài)激光劃痕測量方法及裝置

      890   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
      2023-03-19 06:25:57
      本發(fā)明涉及激光檢測與材料性能檢測技術領域,其利用連續(xù)加載的長脈沖激光準靜態(tài)加載涂層或薄膜試件表面,利用激光的熱作用對薄膜表面薄層(僅幾十nm厚)的加熱,以及隨后的熱量熱傳導,在試件中形成溫度場,由于薄膜-基體材料的熱膨脹系數(shù)和溫度的差異,當涂層中形成的熱應力達到一定值時,材料產(chǎn)生脫粘,進一步發(fā)生材料翹曲和剝落,同時,進給系統(tǒng)使試件作進給運動,從而在涂層表面形成劃痕。用薄膜-基體界面處剝落所對應的激光能量可表征界面結(jié)合強度,用理論分析和數(shù)值計算可得薄膜-基體界面的結(jié)合強度。適用于各種硬質(zhì)工具膜、裝飾膜系、裝飾功能膜、DLC薄膜、復合材料以及其它類型的界面結(jié)合強度的測定。
      聲明:
      “界面結(jié)合強度的準靜態(tài)激光劃痕測量方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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