本發(fā)明涉及激光檢測(cè)與材料性能檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,其以連續(xù)加載的脈沖遠(yuǎn)紫外激光束通過(guò)入射激光束光路系統(tǒng)直接加載于試件的薄膜表面,通過(guò)光離解、光致變價(jià)、形成晶格缺陷、等離子化等作用實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的剝蝕加工,對(duì)有些材料,光子甚至可直接打破分子或晶體之間的結(jié)合鍵,使薄膜材料產(chǎn)生剝落。同時(shí),進(jìn)給系統(tǒng)使試件作進(jìn)給運(yùn)動(dòng),激光束在薄膜表面形成深度逐漸增加的劃痕,直至膜-基體界面破壞,用膜基界面破壞時(shí)的激光束能量經(jīng)一定數(shù)學(xué)模型處理后來(lái)表征膜基體界面的結(jié)合強(qiáng)度。適用于各種硬質(zhì)工具膜、裝飾膜系、裝飾功能膜、DLC薄膜、有機(jī)高分子材料、
復(fù)合材料以及其它類(lèi)型的界面結(jié)合強(qiáng)度的測(cè)定。
聲明:
“界面結(jié)合強(qiáng)度的遠(yuǎn)紫外激光劃痕測(cè)量方法及裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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