探針伺服角度控制方法及控制模塊、基于該控制模塊的成像系統(tǒng)及該系統(tǒng)的成像方法,涉及采用原子力顯微鏡進行微納米結(jié)構(gòu)表面掃描成像的技術(shù)。它為了解決傳統(tǒng)的原子力顯微鏡無法對具有大傾角外斜表面、垂直側(cè)壁表面、內(nèi)斜表面等結(jié)構(gòu)表面實現(xiàn)連續(xù)可控分辨率三維掃描成像的問題。本發(fā)明通過控制探針針針尖在YZ平面內(nèi)實時沿與XZ表面成Φ角的矢量上接近樣品表面進行掃描,Φ值可以自動根據(jù)已掃描的樣品表面信息進行動態(tài)調(diào)節(jié),以此實現(xiàn)不同角度的表面的等分辨率掃描,有助于提高對微納米結(jié)構(gòu)性能檢測及檢測效率,從而為超大規(guī)模集成電路和甚超大規(guī)模集成電路檢測提供了一種重要的工具。
聲明:
“探針伺服角度控制方法及控制模塊、基于該控制模塊的成像系統(tǒng)及該系統(tǒng)的成像方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)