基于偏振光散射法檢測(cè)工件表面綜合性能參數(shù)的裝置,屬于光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域,本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有加工工件表面性能檢測(cè)裝置只能檢測(cè)單一特征參數(shù),不能準(zhǔn)確、快速、簡(jiǎn)便地檢測(cè)綜合性能參數(shù)的問題。本實(shí)用新型激光入射至分光鏡分光,水平激光通過擴(kuò)束器、起偏器和反光鏡入射至工件表面,反射后入射至電荷耦合陣列檢測(cè)器;垂直激光通過擴(kuò)束器、起偏器和分光鏡分為水平激光和垂直激光;水平激光通過透鏡入射至電荷耦合陣列檢測(cè)器;垂直激光通過偏振分光鏡分為水平S光和垂直P光;水平S光通過反光鏡和透鏡入射至工件表面,反射后入射至光電二極管陣列;垂直P光通過透鏡入射至工件表面,反射后入射至光電二極管陣列。用于檢測(cè)加工工件表面綜合特征參數(shù)。
聲明:
“基于偏振光散射法檢測(cè)工件表面綜合性能參數(shù)的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)