本發(fā)明涉及蝕刻技術(shù)領(lǐng)域,提供一種金屬銅表面蝕刻工藝,其步驟如下:表面微蝕處理;圖案涂覆;蝕刻;表面防腐處理。其中,利用微蝕清洗劑在以下清潔條件下對(duì)銅表面進(jìn)行處理,清洗溫度為20~30℃,噴淋壓力為1.0~1.5kg/cm2,清洗時(shí)間為30~60s;圖案涂覆的步驟包括壓膜、冷卻暫存、曝光、撕膜、顯影、液洗以及干燥;蝕刻包括一次蝕刻、補(bǔ)償蝕刻、清洗、蓬松以及退膜;利用表面處理藥劑在以下防腐條件下對(duì)銅表面進(jìn)行處理,表面處理藥劑的濃度為20%~100%,使用溫度為20~30℃,噴淋壓力為1.0~1.5kg/cm2,清洗時(shí)間為30~60s。本發(fā)明提供的金屬銅表面蝕刻工藝,可避免金屬銅提前氧化腐蝕而出現(xiàn)殘次品,從而提高成品的良率。
聲明:
“金屬銅表面蝕刻工藝及自動(dòng)化生產(chǎn)線” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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