本發(fā)明公開(kāi)了一種滑片檢測(cè)裝置和化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng),所述滑片檢測(cè)裝置包括激光發(fā)射器、光纖接收器和控制器;所述激光發(fā)射器和光纖接收器設(shè)置于V形支架,所述V形支架朝向拋光墊設(shè)置,所述激光發(fā)射器朝向拋光墊發(fā)射激光,光纖接收器接收反射的激光并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào);所述控制器根據(jù)光纖接收器的電信號(hào)判定是否有晶圓自承載頭滑出;所述激光發(fā)射器和光纖接收器相對(duì)于拋光墊傾斜設(shè)置,使得附著于其上的液滴滑落而不封堵激光發(fā)射和/或接收的路徑。
聲明:
“滑片檢測(cè)裝置和化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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