本發(fā)明提供了一種金屬
電化學(xué)反應(yīng)的測(cè)試結(jié)構(gòu)及測(cè)試方法、電子裝置。所述測(cè)試結(jié)構(gòu)包括:待測(cè)試的第一金屬層;若干測(cè)試金屬層,所述測(cè)試金屬層與所述第一金屬層同層設(shè)置,并且所述測(cè)試金屬層環(huán)繞所述第一金屬層中易發(fā)生金屬電化學(xué)反應(yīng)的區(qū)域設(shè)置;其中,所述測(cè)試金屬層和所述第一金屬層間隔地設(shè)置并形成第一電容結(jié)構(gòu),用于檢測(cè)所述第一金屬層中是否產(chǎn)生電化學(xué)反應(yīng)缺陷。所述測(cè)試結(jié)構(gòu)可以方便執(zhí)行在線(In?line)WAT測(cè)試,及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題,有效防止更多批量產(chǎn)品缺陷。
聲明:
“金屬電化學(xué)反應(yīng)的測(cè)試結(jié)構(gòu)及測(cè)試方法、電子裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)