本發(fā)明提供了一種
電化學(xué)微震檢波器,包括:慣性擺體,其內(nèi)形成電解液空間,該電解液空間內(nèi)充有電解液;敏感電極,固定于電解液空間的電解液中,用于采用電化學(xué)原理將震動信號轉(zhuǎn)換為電信號;信號處理電路,其輸入端電性連接至敏感電極,用于將敏感電極輸出的電信號進(jìn)行處理,得到負(fù)反饋信號;反饋組件,其輸入端電性連接至信號處理電路,用于利用負(fù)反饋信號向慣性擺體施加與外界震動輸入力相反的力,以減小慣性擺體因外界震動輸入力而產(chǎn)生的位移。本發(fā)明通過一種適用于小型MEMS電化學(xué)微震檢波器的力平衡負(fù)反饋機(jī)制,以達(dá)到拓展小型MEMS電化學(xué)微震檢波器工作頻帶的目的。
聲明:
“電化學(xué)微震檢波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)