一種研磨墊輪廓的控制系統(tǒng),適于包括研磨墊、研磨臺、研磨頭以及調(diào)節(jié)器的一化學(xué)機(jī)械研磨裝置,其中研磨墊包含一透光區(qū)。而這種控制系統(tǒng)包括至少一光源、一檢測器以及一處理器。而光源設(shè)置于研磨臺中,且對應(yīng)于研磨墊的透光區(qū)。檢測器則位于研磨墊上方,以檢測通過研磨墊的透光區(qū)的光源所發(fā)出的光。處理器根據(jù)檢測器所檢測的結(jié)果,來估算研磨墊的厚度,以判定研磨墊的輪廓狀況,進(jìn)而發(fā)出一處理訊號至調(diào)節(jié)器,借以調(diào)整調(diào)節(jié)器的處理程序。由于本發(fā)明能在線控制研磨墊輪廓,所以可降低關(guān)于晶圓內(nèi)不均勻度的變量而獲致平坦的研磨墊輪廓。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械研磨裝置及其研磨墊輪廓的控制系統(tǒng)與調(diào)節(jié)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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