一種修整組件和化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備,所述修整組件包括:修整盤(pán),用于修整拋光墊的拋光面,使所述拋光墊的拋光面保持粗糙度;拋光墊修整器,具有一連接面,用于吸附所述修整盤(pán)的背面;檢測(cè)單元,包括:管道,部分所述管道位于所述拋光墊修整器內(nèi),貫穿所述拋光墊修整器,所述管道的第一端位于所述拋光墊修整器的連接面且端部通過(guò)一彈性密封層密封,當(dāng)所述拋光墊修整器吸附于所述修整盤(pán)的背面時(shí),所述彈性密封層與所述修整盤(pán)接觸,所述管道內(nèi)用于盛放耐揮發(fā)的液體;液位計(jì),設(shè)置于所述管道上,用于檢測(cè)所述管道內(nèi)的液體液位。所述修整組件能夠?qū)崟r(shí)偵測(cè)修整盤(pán)的掉落情況。
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