本實(shí)用新型涉及氨氣化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域,且公開(kāi)了一種基于氨氣的化學(xué)氣相沉積設(shè)備,包括反應(yīng)箱,所述反應(yīng)箱側(cè)邊固定連接有控制器,所述控制器頂部固定連接有智能閥,所述智能閥側(cè)邊固定連接有輸氣管,所述智能閥側(cè)邊固定連接有輸氣計(jì)量?jī)x,所述輸氣計(jì)量?jī)x與反應(yīng)箱和控制器相連接,所述控制器側(cè)邊固定連接有信號(hào)接收器,所述控制器底部固定連接有加熱器,所述加熱器與反應(yīng)箱相連接,所述反應(yīng)箱表面固定連接有氣體
檢測(cè)儀。該基于氨氣的化學(xué)氣相沉積設(shè)備,通過(guò)反應(yīng)箱、控制器、智能閥、輸氣管、輸氣計(jì)量?jī)x、信號(hào)接收器和加熱器等部分的連接和作用,達(dá)到遠(yuǎn)程操作打破空間限制,不直接接觸保障安全,簡(jiǎn)單操作數(shù)值可控的效果。
聲明:
“基于氨氣的化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)