該實(shí)用新型涉及一種研磨頭組件和化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備。所述研磨頭組件包括:研磨頭,包括具有一開口的腔體和卡盤板,卡盤板設(shè)置于所述腔體開口處,用于固定晶圓;壓力控制單元,設(shè)置于腔體內(nèi),包括:壓力腔和密封件,所述密封件第一端連接所述卡盤板表面,第二端隔離所述壓力腔與所述腔體,當(dāng)所述卡盤板固定有晶圓時(shí),所述壓力腔內(nèi)的壓力保持恒定,當(dāng)晶圓從研磨頭中滑出后,卡盤板連同所述密封件位置發(fā)生移動(dòng),使得壓力腔內(nèi)壓力發(fā)生變化;壓力管道,用于連通所述壓力腔與壓力供應(yīng)端;壓力傳感器,用于連接所述壓力管道,用于檢測(cè)所述壓力腔內(nèi)的壓強(qiáng)。上述研磨頭組件,能夠?qū)A滑出所述研磨頭的情況進(jìn)行檢測(cè),提高對(duì)晶圓進(jìn)行研磨加工時(shí)的產(chǎn)率。
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