本發(fā)明公開了用于化學(xué)氣相沉積過程的裝置和方法。一種用于化學(xué)氣相沉積過程的裝置,包括:傳感器,被配置成在所述化學(xué)氣相沉積過程中感測工藝參數(shù);數(shù)據(jù)庫,被配置成存儲與所述化學(xué)氣相沉積過程相關(guān)的工藝參數(shù)以及對應(yīng)的薄膜特性;以及處理裝置,被配置成根據(jù)薄膜特性的目標(biāo)值以及數(shù)據(jù)庫中與感測的工藝參數(shù)對應(yīng)的薄膜特性,確定所述化學(xué)氣相沉積過程中的所述工藝參數(shù)的調(diào)整值。
聲明:
“用于化學(xué)氣相沉積過程的裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)