一種MEMS單
芯片集成流量溫度濕度化學(xué)傳感器,硅晶圓為整個器件的襯底,作為支撐結(jié)構(gòu);絕緣層板狀結(jié)構(gòu),絕緣隔離金屬薄膜與硅晶圓;敏感材料層設(shè)置在金屬薄膜上;鈍化層設(shè)置在金屬薄膜上,金屬焊盤為芯片的對外電學(xué)連接端子;腔室由晶圓背面或正面對其內(nèi)部進(jìn)行刻蝕,形成的腔室;溫度傳感器、氣體質(zhì)量流量傳感器、濕度傳感器和氣體化學(xué)傳感器集成在金屬薄膜上。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn):濕度傳感器利用在金屬薄膜電阻沉積聚酰亞胺材料來制備。氣體質(zhì)量流量傳感器通過溫度傳感器測試被加熱的空氣的流動引起的溫度變化從而得出氣體流量。氣體化學(xué)傳感器通過在金屬薄膜和敏感材料層形成的電容,來對不同氣體成分進(jìn)行測試。成品體積小,精度高。
聲明:
“MEMS單芯片集成流量溫度濕度化學(xué)傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)