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      基于化學(xué)氣相沉積法的大面積二硫化鉬薄膜制備方法

      1106   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 07:01:13
      本發(fā)明公開了一種基于化學(xué)氣相沉積法的大面積二硫化鉬薄膜制備方法,涉及材料制備技術(shù)領(lǐng)域,包括以下步驟:步驟S1:原料準(zhǔn)備,準(zhǔn)備襯底、鉬源、硫源、氮?dú)?、硒源、丙酮溶液、去離子水、氮?dú)鈽?、磁控濺射設(shè)備、雙溫區(qū)管式氣氛爐、瓷舟、氯化鉀和機(jī)械泵;步驟S2:清洗,將襯底置于丙酮溶液中清理2?4分鐘;步驟S3:預(yù)處理;步驟S4:準(zhǔn)備工作;步驟S5:運(yùn)行;步驟S6:保溫冷卻;步驟S7:檢驗(yàn)。本發(fā)明具備了通過磁控濺射法和化學(xué)氣象沉積法的組合形式,使得不僅可對成膜的厚度和規(guī)格進(jìn)行調(diào)整,同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)大面積連續(xù)性的合成二硫化鉬薄膜,并可對薄膜的結(jié)構(gòu)加以控制,具有實(shí)用性更佳的效果。
      聲明:
      “基于化學(xué)氣相沉積法的大面積二硫化鉬薄膜制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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