一種化學(xué)氣相沉積氣體導(dǎo)流機構(gòu),涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,包括布氣筒、上蓋、進氣管、支撐件、安裝板、安裝管、安裝柱和分流罩;布氣筒為底端封閉的圓筒結(jié)構(gòu),布氣筒底部均勻設(shè)置有多個出氣孔;上蓋設(shè)置在布氣筒上端;進氣管設(shè)置在上蓋上,進氣管與布氣筒連通,進氣管位于上蓋中部;支撐件設(shè)置在布氣筒內(nèi)壁上,支撐件為上下開口且中空的圓臺結(jié)構(gòu),支撐件上均勻設(shè)置有多個第一通孔;安裝板設(shè)在支撐件上端面,安裝板上設(shè)置有多個第二通孔;安裝管設(shè)置在安裝板上,安裝管位于進氣管下方;安裝柱卡接在安裝管內(nèi);分流罩設(shè)置在安裝柱上端。本實用新型使得膜厚測試更為簡單方便,制作成本低,降低了氣流大小不均勻?qū)怏w沉積膜厚度造成的影響。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積氣體導(dǎo)流機構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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