本發(fā)明公開了一種化學(xué)氣相沉積鉆石的設(shè)備,包括反應(yīng)箱,所述反應(yīng)箱底端設(shè)有若干支撐腳,所述反應(yīng)箱內(nèi)底壁轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)軸,所述轉(zhuǎn)軸頂端與反應(yīng)箱內(nèi)頂壁轉(zhuǎn)動連接,所述轉(zhuǎn)軸表面固定套有若干托盤,若干所述托盤下表面均設(shè)有若干電加熱器,所述反應(yīng)箱外側(cè)壁一側(cè)設(shè)有微波發(fā)生器,所述反應(yīng)箱外側(cè)壁設(shè)有若干散熱板,所述反應(yīng)箱頂端設(shè)有兩個進(jìn)氣管,兩個所述進(jìn)氣管位于反應(yīng)箱內(nèi)的一端均固定連接有連接管。本發(fā)明中,設(shè)置有反應(yīng)箱、散熱板、圍板和風(fēng)扇,從而可以對反應(yīng)箱側(cè)壁進(jìn)行降溫,進(jìn)而避免反應(yīng)箱內(nèi)側(cè)壁上發(fā)生沉積,并且,反應(yīng)箱內(nèi)部設(shè)有多個托盤和放置板,放置板與托盤之前設(shè)有重量傳感器,使得該設(shè)備可以實(shí)時監(jiān)測合成鉆石的重量。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積鉆石的設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)